公开(公告)号：CN114723878B

公开(公告)日：2025-05-02

申请号：CN202210232768.6

申请日：2022-03-09

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 周诗豪 ,  严资林 ,  仲政

IPC: G06T17/00

Abstract: 本发明涉及三维重构技术领域，尤其涉及一种聚焦离子束‑扫描电镜三维结构重构校正方法，包括：对材料进行加工，得到具有球形颗粒附着层的材料样品；在真空条件下，采用包含环氧树脂的组分进行孔隙填充；待环氧树脂完全固化后，对待测样品进行加工，沿球形颗粒附着层的法向方向暴露材料及球形颗粒；对暴露出的材料及球形颗粒交界处进行抛光，确定感兴趣区域；采用聚焦离子束‑扫描电镜对感兴趣区域进行切割与扫描，获取二维图像序列，并进行三维重构，得到三维数字化图像；基于球形颗粒的尺寸及形状，对三维数字化图像进行校正。本发明能够校正聚焦离子束‑扫描电镜对材料微纳米级结构的三维重构结果，获得高精度的三维重构图像。

公开(公告)号：CN114723878A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202210232768.6

申请日：2022-03-09

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)

Inventor： 周诗豪 ,  严资林 ,  仲政

IPC: G06T17/00

Abstract: 本发明涉及三维重构技术领域，尤其涉及一种聚焦离子束‑扫描电镜三维结构重构校正方法，包括：对材料进行加工，得到具有球形颗粒附着层的材料样品；在真空条件下，采用包含环氧树脂的组分进行孔隙填充；待环氧树脂完全固化后，对待测样品进行加工，沿球形颗粒附着层的法向方向暴露材料及球形颗粒；对暴露出的材料及球形颗粒交界处进行抛光，确定感兴趣区域；采用聚焦离子束‑扫描电镜对感兴趣区域进行切割与扫描，获取二维图像序列，并进行三维重构，得到三维数字化图像；基于球形颗粒的尺寸及形状，对三维数字化图像进行校正。本发明能够校正聚焦离子束‑扫描电镜对材料微纳米级结构的三维重构结果，获得高精度的三维重构图像。