公开(公告)号：CN108534674B

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201810349361.5

申请日：2018-04-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵学森 ,  王宗伟 ,  张伟盼 ,  马小军 ,  孙涛 ,  高党忠 ,  郑鹏伟

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置，所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分，其中：所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合，结构优化集成，实现ICF靶空间姿态高精度调整，设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台，配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制，能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。

公开(公告)号：CN108534674A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810349361.5

申请日：2018-04-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵学森 ,  王宗伟 ,  张伟盼 ,  马小军 ,  孙涛 ,  高党忠 ,  郑鹏伟

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/00 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置，所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分，其中：所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合，结构优化集成，实现ICF靶空间姿态高精度调整，设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台，配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制，能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。

公开(公告)号：CN221645070U

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202420115601.6

申请日：2024-01-17

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  哈工大郑州研究院

Inventor： 渠怀志 ,  徐梁格 ,  滕祥青 ,  马小军 ,  张善勇 ,  朱嘉琦

IPC: C23C26/00

Abstract: 一种应用于曲面膜层厚度和均匀性检测的衬底快速拆装装置，涉及一种应用于曲面膜层厚度和均匀性检测的拆装装置。本实用新型在铝合金曲面罩的外壁上各个方向均匀设置了多个正方形衬底卡槽，解决了目前测量点位不均匀的技术问题；镀膜圆孔设计成被掩膜条均分成两个半圆形的镀膜孔，掩膜条代替常规胶带做掩膜，可以避免撕扯胶带对膜层的破坏；装置内壁进行了倒角设计，最大程度的降低镀膜过程中台阶的掩膜边缘效应；本实用新型用铝合金曲面罩代替整流罩，能够更好的节约成本，且精细的结构设计能够镀膜后快速进行后续测量；衬底拆卸孔的设计能够快速拆卸衬底，节约操作时间，且不伤膜层；正方形衬底卡槽适用于多种设备的曲面工况，普适性强。