公开(公告)号：CN108534674B

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201810349361.5

申请日：2018-04-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵学森 ,  王宗伟 ,  张伟盼 ,  马小军 ,  孙涛 ,  高党忠 ,  郑鹏伟

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置，所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分，其中：所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合，结构优化集成，实现ICF靶空间姿态高精度调整，设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台，配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制，能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。

公开(公告)号：CN108534674A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810349361.5

申请日：2018-04-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵学森 ,  王宗伟 ,  张伟盼 ,  马小军 ,  孙涛 ,  高党忠 ,  郑鹏伟

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/00 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置，所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分，其中：所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合，结构优化集成，实现ICF靶空间姿态高精度调整，设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台，配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制，能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。