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公开(公告)号：CN113314451A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110645471.8
申请日：2021-06-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L23/544
Abstract: 本发明提供了一种基于莫尔条纹的晶圆键合对准系统及方法，该系统包括：光路装置、数据处理装置和控制装置；光路装置包括光源组件、上光路组件和下光路组件；上光路组件和下光路组件均包括反光镜、透射式光栅、透镜和光电接收器；上光路组件用于和下晶圆构建上光路以获取第一莫尔条纹；下光路组件用于和上晶圆构建下光路以获取第二莫尔条纹；光电接收器用于将光信号转换为电信号；数据处理装置用于确定下晶圆的位置和上晶圆的位置；控制装置对上晶圆和下晶圆的位置进行调整以对准上晶圆和下晶圆。本发明通过莫尔条纹的放大作用来提升晶圆键合对准精度，还可分辨晶圆间的旋转错位，也不要求晶圆材料透明，可实现全材料晶圆的纳米级高精度对准。
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公开(公告)号：CN106247947B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201610656319.9
申请日：2016-08-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种外差式二/三维光栅位移粗/细测量系统，包括单频激光光源、电光调制器、五个分光棱镜、二维透射式测量光栅、七个一维透射式测量光栅、六个偏振分光棱镜、十二个偏振片、十二个光电探测及信号处理部件、五个平面反射镜,单频激光光源发射的是线偏振单频激光，偏振方向与x轴呈45度，经快轴方向与x轴平行的电光调制器调制后输出外差式激光，该外差式激光由偏振方向沿y轴的s波分量和偏振方向沿x轴的p波分量构成，并且s波分量和p波分量之间存在一个随电光调制器所加载的调制电压变化而变化的相位差；本发明不仅能克服环境温度、湿度变化等造成的误差，而且能够实现二/三维方向上位移测量分辨力的粗/细转换，充分满足不同测量需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106052569A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610656320.1
申请日：2016-08-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/02
Abstract: 一种外差式一/二维光栅位移粗/细测量系统，包括单频激光光源、电光调制器、一维反射式测量光栅、分光棱镜、五个一维透射式测量光栅、六个平面反射镜、四个偏振分光棱镜、八个偏振片及八个光电探测及信号处理部件，单频激光光源发射的是线偏振单频激光，偏振方向与x轴呈45度，经快轴方向与x轴平行的电光调制器调制后输出外差式激光，该外差式激光由偏振方向沿z轴的s波分量和偏振方向沿x轴的p波分量构成，并且s波分量和p波分量之间存在一个随电光调制器所加载的调制电压变化而变化的相位差；本发明不仅能够克服测量环境温度、湿度变化等造成的误差，而且能够有效实现一/二维方向上位移测量分辨力的粗/细转换，充分满足不同测量需求。
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公开(公告)号：CN106247947A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610656319.9
申请日：2016-08-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/02
Abstract: 一种外差式二/三维光栅位移粗/细测量系统，包括单频激光光源、电光调制器、五个分光棱镜、二维透射式测量光栅、七个一维透射式测量光栅、六个偏振分光棱镜、十二个偏振片、十二个光电探测及信号处理部件、五个平面反射镜,单频激光光源发射的是线偏振单频激光，偏振方向与x轴呈45度，经快轴方向与x轴平行的电光调制器调制后输出外差式激光，该外差式激光由偏振方向沿y轴的s波分量和偏振方向沿x轴的p波分量构成，并且s波分量和p波分量之间存在一个随电光调制器所加载的调制电压变化而变化的相位差；本发明不仅能克服环境温度、湿度变化等造成的误差，而且能够实现二/三维方向上位移测量分辨力的粗/细转换，充分满足不同测量需求。
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公开(公告)号：CN119482541A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411607909.3
申请日：2024-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本申请提供一种用于抑制频率跌落的风电主动支撑调频参数优化方法，包括以下步骤：建立双馈风机并网发电的系统模型；确定所述双馈风机参与电网调频时的频率跌落特性，其中，所述双馈风机通过综合惯性控制策略参与电网调频，所述频率跌落特性包括频率一次跌落特性、频率二次跌落特性及双馈风机退出电网调频时的系统频率特性；基于所述双馈风机参与电网调频时的频率跌落特性选取需要优化的调频参数；使用改进粒子群算法搜索得到所述调频参数的最优值，其中，所述改进粒子群算法的约束条件包括双馈风机的转子安全与功率输出安全耦合项。使用本申请提供的方法得到的调频参数，能够有效抑制双馈风机参与电网调频时的频率二次跌落问题。
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公开(公告)号：CN113314451B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202110645471.8
申请日：2021-06-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L23/544
Abstract: 本发明提供了一种基于莫尔条纹的晶圆键合对准系统及方法，该系统包括：光路装置、数据处理装置和控制装置；光路装置包括光源组件、上光路组件和下光路组件；上光路组件和下光路组件均包括反光镜、透射式光栅、透镜和光电接收器；上光路组件用于和下晶圆构建上光路以获取第一莫尔条纹；下光路组件用于和上晶圆构建下光路以获取第二莫尔条纹；光电接收器用于将光信号转换为电信号；数据处理装置用于确定下晶圆的位置和上晶圆的位置；控制装置对上晶圆和下晶圆的位置进行调整以对准上晶圆和下晶圆。本发明通过莫尔条纹的放大作用来提升晶圆键合对准精度，还可分辨晶圆间的旋转错位，也不要求晶圆材料透明，可实现全材料晶圆的纳米级高精度对准。
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公开(公告)号：CN106052569B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201610656320.1
申请日：2016-08-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种外差式一/二维光栅位移粗/细测量系统，包括单频激光光源、电光调制器、一维反射式测量光栅、分光棱镜、五个一维透射式测量光栅、六个平面反射镜、四个偏振分光棱镜、八个偏振片及八个光电探测及信号处理部件，单频激光光源发射的是线偏振单频激光，偏振方向与x轴呈45度，经快轴方向与x轴平行的电光调制器调制后输出外差式激光，该外差式激光由偏振方向沿z轴的s波分量和偏振方向沿x轴的p波分量构成，并且s波分量和p波分量之间存在一个随电光调制器所加载的调制电压变化而变化的相位差；本发明不仅能够克服测量环境温度、湿度变化等造成的误差，而且能够有效实现一/二维方向上位移测量分辨力的粗/细转换，充分满足不同测量需求。
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