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公开(公告)号：CN103245292B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310167658.7
申请日：2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型和空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以相同频率相反方向超声波驱动的喇曼-奈斯衍射型调制声光栅和解调声光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制声光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调声光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明无需引入移动部件，即可提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN102866597A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210385422.6
申请日：2012-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于光刻机双工件台的三维微位移测量方法及其传感装置，属于IC制造和超精密测量及加工装备，其测量方法是霍尔微位移传感器的输出霍尔电压信号随宏、微双工件台相对位移呈线性变化，通过相互呈90°相位关系的三个霍尔微位移传感器测量三维微位移，外部检测电路处理并综合三个霍尔传感器的输出信号完成测量；其装置解决了光刻宏微双重驱动机构Chuck台、掩膜台等特殊位置高速高精度相对位置检测的问题，具有无触点、线性好、可集成度高、可移植力强的特点，且可实现一维、二维或三维等多维度测量，适应光刻系统的环境要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103256888B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201310167659.1
申请日：2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/00
Abstract: 一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型相同，空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动的调制移动光栅和解调移动光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制移动光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调移动光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明可以提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN103245292A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310167658.7
申请日：2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型和空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以相同频率相反方向超声波驱动的喇曼-奈斯衍射型调制声光栅和解调声光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制声光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调声光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明无需引入移动部件，即可提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN102866595A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210385257.4
申请日：2012-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于光刻机双工件台的二维微位移测量方法及传感装置，属于IC制造和超精密测量及加工装备，其测量方法是霍尔微位移传感器的输出霍尔电压信号随宏、微双工件台相对位移呈线性变化，通过呈90°相位关系的两个霍尔微位移传感器测量二维微位移，外部检测电路处理并综合两个霍尔传感器的输出信号完成测量；其装置解决了光刻宏微双重驱动机构Chuck台、掩膜台等特殊位置高速高精度相对位置检测的问题，具有无触点、线性好、可集成度高、可移植力强的特点，且可实现一维、二维或三维等多维度测量，适应光刻系统的环境要求。
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公开(公告)号：CN103256888A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310167659.1
申请日：2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/00
Abstract: 一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型相同，空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动的调制移动光栅和解调移动光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制移动光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调移动光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明可以提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN102880015A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210385287.5
申请日：2012-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于光刻机双工件台的微位移测量方法及传感装置，属于IC制造和超精密测量及加工技术，其测量方法是霍尔微位移传感器的输出霍尔电压信号随宏、微双工件台相对位移呈线性变化，外部检测电路处理并综合霍尔传感器的输出信号完成测量；其装置解决了光刻宏微双重驱动机构Chuck台、掩膜台等特殊位置高速高精度相对位置检测的问题，具有无触点、线性好、可集成度高、可移植力强的特点，且可实现一维、二维或三维等多维度测量，适应光刻系统的环境要求。
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