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公开(公告)号：CN116256973B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202211678533.6
申请日：2022-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种宏微冗余驱动运动台协同控制系统及方法，涉及一种控制系统及方法。轨迹生成器R生成期望运动轨迹r1(k)和r2(k)，耦合系统包括耦合信号d12(s)和d21(s)，协同迭代控制系统输入同步误差信号，输出迭代控制信号，微动运动台伺服误差e2(k)经过反馈控制器C2(s)，再加上前馈控制器A2(s)的信号输入到微动台模型，输出实际运动轨迹y2(k)，宏动运动台伺服误差e1(k)加上迭代控制信号经过反馈控制器C1(s)，再加上前馈控制器A1(s)的信号输入到宏动台模型，输出实际运动轨迹y1(k)。进行多通道方法学习有效提高学习频率，扩展学习带宽，提高迭代同步精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116256973A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211678533.6
申请日：2022-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种宏微冗余驱动运动台协同控制系统及方法，涉及一种控制系统及方法。轨迹生成器R生成期望运动轨迹r1(k)和r2(k)，耦合系统包括耦合信号d12(s)和d21(s)，协同迭代控制系统输入同步误差信号，输出迭代控制信号，微动运动台伺服误差e2(k)经过反馈控制器C2(s)，再加上前馈控制器A2(s)的信号输入到微动台模型，输出实际运动轨迹y2(k)，宏动运动台伺服误差e1(k)加上迭代控制信号经过反馈控制器C1(s)，再加上前馈控制器A1(s)的信号输入到宏动台模型，输出实际运动轨迹y1(k)。进行多通道方法学习有效提高学习频率，扩展学习带宽，提高迭代同步精度。
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公开(公告)号：CN116819902B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202310825107.9
申请日：2023-07-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法，涉及超精密光刻装备控制系统及方法。控制系统包括运动轨迹生成部分、反馈控制部分、前馈控制部分、解耦控制部分、六自由度运动台与位置测量部分，解耦控制部分包括静态解耦部分和动态解耦部分，静态解耦部分由增益规划矩阵、增益平衡矩阵和科氏力补偿矢量组成，动态解耦部分由动态解耦矩阵构成。反馈与前馈控制器设计简单，通过静动态结合的方式减少各自由度之间的串扰影响，提高控制精度。
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公开(公告)号：CN115755627B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211624302.7
申请日：2022-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法，所述方法包括系统扫频数据获取、系统模型辨识、虚拟系统构建以及模型预测前馈四部分。本发明通过设计虚拟系统，采用虚拟状态反馈的模型预测方法对系统进行精准前馈控制量补偿，既可以发挥模型预测控制强大的轨迹跟踪能力，又能利用虚拟系统屏蔽外界扰动的影响，保证前馈补偿输入的准确性。此外，使用系统虚拟系统避免了复杂的状态观测器设计问题，降低了前馈控制器设计难度，提高了纳米级精密运动台的估计跟踪性能。
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公开(公告)号：CN116819902A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310825107.9
申请日：2023-07-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法，涉及超精密光刻装备控制系统及方法。控制系统包括运动轨迹生成部分、反馈控制部分、前馈控制部分、解耦控制部分、六自由度运动台与位置测量部分，解耦控制部分包括静态解耦部分和动态解耦部分，静态解耦部分由增益规划矩阵、增益平衡矩阵和科氏力补偿矢量组成，动态解耦部分由动态解耦矩阵构成。反馈与前馈控制器设计简单，通过静动态结合的方式减少各自由度之间的串扰影响，提高控制精度。
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公开(公告)号：CN115755627A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211624302.7
申请日：2022-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法，所述方法包括系统扫频数据获取、系统模型辨识、虚拟系统构建以及模型预测前馈四部分。本发明通过设计虚拟系统，采用虚拟状态反馈的模型预测方法对系统进行精准前馈控制量补偿，既可以发挥模型预测控制强大的轨迹跟踪能力，又能利用虚拟系统屏蔽外界扰动的影响，保证前馈补偿输入的准确性。此外，使用系统虚拟系统避免了复杂的状态观测器设计问题，降低了前馈控制器设计难度，提高了纳米级精密运动台的估计跟踪性能。
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