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公开(公告)号：CN108165947B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201810226135.8
申请日：2018-03-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 用于修补平面沉积膜层的自吸式磁控溅射系统及溅射方法，它涉及一种磁控溅射系统及溅射方法。本发明为了解决现有的大型平面结构件表面膜层发生脱落、起皮等现象后，存在不易进行再次镀膜修复，直接影响到结构件或是功能件的寿命和功能性的问题。本发明包括真空室组件、磁控靶挡板组件和磁控靶组件，磁控靶挡板组件通过控制第一手轮的旋转，使得挡板轴运动，同时万向节发生运动带动挡板的左右运动，实现遮挡溅射辉光的作用；磁控靶通过直靶支杆和靶支座固定在真空室桶内，采用屏蔽靶套套在永磁靶头上，防止溅射过程中辉光收到外界环境干扰。溅射方法包括准备工作、抽真空、起辉、镀膜修补和取下系统。本发明用于修补平面沉积膜层中。
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公开(公告)号：CN108535329A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810254164.5
申请日：2018-03-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 薄层导电材料的测试装置、表面电阻的测试方法、损伤信息的测试方法，涉及薄层导电材料的测试领域，为了解决现有接触式检测只能在导电材料表面进行接触测量，以及涡流损伤检测在nm级厚度材料的检测中不能适用的问题。恒流的射频电流发生器用于驱动LC振荡电路，薄层导电材料通过缠绕电感线圈的铁氧体耦合到LC振荡电路中；滤波电路用于对LC振荡电路输出的电压进行滤波，得到直流电压。如果直流电压发生变化，则薄层导电材料存在损伤，否则不存在损伤。采用已知表面电阻的标准薄层导电材料进行标定；计算表面电阻与直流电压的对应关系；结合耦合待测薄层导电材料时的直流电压得到待测薄层导电材料的表面电阻。本发明适用于测试薄层导电材料。
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公开(公告)号：CN108481766A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810341519.4
申请日：2018-04-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种有机玻璃飞机座舱盖及舷窗的裂纹修复方法，它涉及一种玻璃的裂纹修复方法。本发明是要解决现有的有机玻璃飞机座舱盖及舷窗的裂纹修复方法需要从框架上拆卸有机玻璃，延长了维修时间，且处理后的有机玻璃机械性能下降的技术问题。本发明：一、水洗带有裂纹的有机玻璃去除表面污渍；二、样品的打磨；三、样品的清洗和烘干；四、样品表面喷涂修复液；五、样品表面修复液固化。本发明采用首先采用水砂纸进行快速打磨去除表面的裂纹，可实现有机玻璃的原位修复，并降低研磨量，提高原板质量；然后喷涂修复液以增加有机玻璃的透过率。此种方法修复后有机玻璃表面平滑性好、透过率高，同时该有机玻璃方法工艺操作简单、成本低，适合应急快速维修。
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公开(公告)号：CN108165947A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201810226135.8
申请日：2018-03-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 用于修补平面沉积膜层的自吸式磁控溅射系统及溅射方法，它涉及一种磁控溅射系统及溅射方法。本发明为了解决现有的大型平面结构件表面膜层发生脱落、起皮等现象后，存在不易进行再次镀膜修复，直接影响到结构件或是功能件的寿命和功能性的问题。本发明包括真空室组件、磁控靶挡板组件和磁控靶组件，磁控靶挡板组件通过控制第一手轮的旋转，使得挡板轴运动，同时万向节发生运动带动挡板的左右运动，实现遮挡溅射辉光的作用；磁控靶通过直靶支杆和靶支座固定在真空室桶内，采用屏蔽靶套套在永磁靶头上，防止溅射过程中辉光收到外界环境干扰。溅射方法包括准备工作、抽真空、起辉、镀膜修补和取下系统。本发明用于修补平面沉积膜层中。
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