公开(公告)号：CN102621826B

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201210120751.8

申请日：2012-04-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  郝中洋 ,  李聪 ,  王公峰 ,  闫华星 ,  彭贵勇 ,  陈兴林

IPC: G03F7/20 ,  G05B19/418

CPC classification number: Y02P90/02

Abstract: 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发明的上位机与下位机通过以太网连接，同步控制组件通过VME64标准总线与下位机连接，同步控制组件通过VME64自定义协议总线与激光计数组件和运动控制组件连接，同步控制组件的网口通过网线与下位机的网口连接，VME总线包括VME64自定义协议总线和VME64标准总线。本发明达到了控制和减小步进扫描过程中的同步误差，提高光刻效率的目的。本发明适用于扫描光刻机领域。

公开(公告)号：CN102621826A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201210120751.8

申请日：2012-04-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  郝中洋 ,  李聪 ,  王公峰 ,  闫华星 ,  彭贵勇 ,  陈兴林

IPC: G03F7/20 ,  G05B19/418

CPC classification number: Y02P90/02

Abstract: 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发明的上位机与下位机通过以太网连接，同步控制组件通过VME64标准总线与下位机连接，同步控制组件通过VME64自定义协议总线与激光计数组件和运动控制组件连接，同步控制组件的网口通过网线与下位机的网口连接，VME总线包括VME64自定义协议总线和VME64标准总线。本发明达到了控制和减小步进扫描过程中的同步误差，提高光刻效率的目的。本发明适用于扫描光刻机领域。

公开(公告)号：CN102147603A

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN201110133977.7

申请日：2011-05-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  姜晓明 ,  杜威 ,  王程 ,  郝中洋

IPC: G05B19/414

Abstract: 基于VME总线的多轴运动控制装置，涉及基于VME总线的运动控制装置，解决了目前VME的接口芯片多为早期产品而速度无法满足多轴控制的问题，它包括VME接口模块、FPGA模块、光纤、存储器模块、光纤接口模块、DSP模块、时钟模块、电机驱动单元和VME总线，VME接口模块的一个数据交换端与VME总线连通，FPGA模块的第四个数据交换端与光纤接口模块的一个数据交换端连通，DSP模块的控制输出端连接在FPGA模块的控制输入端，时钟模块的再一个输出端连接在光纤接口模块的时钟输入端，光纤接口模块的另一个数据交换端通过光纤与电机驱动单元的数据交换端连通，用于实现多轴运动控制。