Patent search ap:("哈尔滨工业大学") AND inv:"邢汇鑫" Page 1

1.

发明公开
基于激光与超精密磨削的CVD金刚石加工方法审中-实审

公开(公告)号：CN118456269A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410768688.1

申请日：2024-06-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵清亮 , 王舒 , 邢汇鑫 , 王生 , 霍英东

IPC: B24B35/00 , B24B1/00 , B23K26/36

Abstract: 一种基于激光与超精密磨削的CVD金刚石加工方法，属于CVD金刚石机械加工技术领域。本发明针对现有CVD金刚石加工效率低并且加工质量差的问题。包括：获取CVD金刚石晶片初始形貌；对CVD金刚石晶片初始形貌基于激光点烧蚀实验和沟槽烧蚀实验，确定激光烧蚀平面参数；按照激光烧蚀平面参数采用亚纳秒激光器对CVD金刚石晶片表面进行高峰点的去除，获得具有黏附石墨层表面的初级加工CVD金刚石晶片；再采用金刚石砂轮对初级加工CVD金刚石晶片表面的微小起伏进行超精密磨削，获得磨削加工后CVD金刚石晶片。本发明用于CVD金刚石加工。

Patent Agency Ranking