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公开(公告)号：CN101598651A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910157428.6
申请日：2009-07-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N3/42
Abstract: 本发明提供了一种能准确评价薄膜硬度的方法和系统。该方法通过记录压头压入膜基结合体时的载荷-压深曲线，再对此曲线进行拟合积分，可计算出压痕过程中压头引起膜基结合体塑性变形的总塑性功；通过扫描试件表面被压入前和压入后的形貌，可计算出膜基结合体的初始体积和压入后总的变形体积，将总的变形体积减去初始体积可得到膜基结合体总塑性变形体积；之后，将总塑性功减去引起基体的塑性变形的塑性功，即得到引起薄膜塑性变形的塑性功，将总塑性变形减去基体的塑性变形体积，即得到纯薄膜塑性变形体积，将引起薄膜塑性变形的塑性功与纯薄膜塑性变形体积的比值作为薄膜的硬度。以及实现该方法的系统。
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