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公开(公告)号：CN111229727A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010066540.5
申请日：2020-01-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，属于洁净技术领域。目的是为了解决在人工无法达到的环境下，如何对光学元件表面进行洁净化处理，包括固定支架、光学元件、离子风系统、静电吸附系统和颗粒污染物收纳盒；离子风系统由风刀、离子棒、离子棒支架、固定支架、连接片、三自由度组合位移台组成，静电吸附系统由棒状电极、电极固定支座、手动平移台，固定支架组成，所述颗粒污染物收纳盒通过收纳盒支撑架与工作面连接。所述颗粒污染物收纳盒与收纳盒支撑架的夹角为135°。本发明的结构十分紧凑，光学元件通过固定支架，固定在底板上，量产性高，成本低，采用的离子风吹扫，高压吸附效果好，而且具有漏电保护性能，安全系数高等特点。
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公开(公告)号：CN111229727B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202010066540.5
申请日：2020-01-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，属于洁净技术领域。目的是为了解决在人工无法达到的环境下，如何对光学元件表面进行洁净化处理，包括固定支架、光学元件、离子风系统、静电吸附系统和颗粒污染物收纳盒；离子风系统由风刀、离子棒、离子棒支架、固定支架、连接片、三自由度组合位移台组成，静电吸附系统由棒状电极、电极固定支座、手动平移台，固定支架组成，所述颗粒污染物收纳盒通过收纳盒支撑架与工作面连接。所述颗粒污染物收纳盒与收纳盒支撑架的夹角为135°。本发明的结构十分紧凑，光学元件通过固定支架，固定在底板上，量产性高，成本低，采用的离子风吹扫，高压吸附效果好，而且具有漏电保护性能，安全系数高等特点。
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公开(公告)号：CN111250481B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202010054196.8
申请日：2020-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用可移动式静电电场吸附颗粒污染物的装置，洁净制造技术领域。本发明的目的是解决高功率激光装置中光学元件表面颗粒污染物去除的问题。基座单元由装置基板、支撑架等零件组成；运动单元由丝杠、支撑轴承等组成实现静电极的往复运动；洁净单元由铜棒、电源等组成，实现高压静电的输送。所述控制单元用于控制运动单元的步进电机的启或停。本发明使用丝杠和光轴导轨在光学玻璃表面移动铜质棒状电极，覆盖面积大而且可以调整，应用范围更加广泛。使用铜质棒状电极，在光学玻璃表面所占体积很小，结构紧凑，空间利用率高，电场也更为集中。铜质棒状电极安装于尼龙槽上，便于替换和更改铜质棒状电极形状。
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公开(公告)号：CN111250481A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010054196.8
申请日：2020-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用可移动式静电电场吸附颗粒污染物的装置，洁净制造技术领域。本发明的目的是解决高功率激光装置中光学元件表面颗粒污染物去除的问题。基座单元由装置基板、支撑架等零件组成；运动单元由丝杠、支撑轴承等组成实现静电极的往复运动；洁净单元由铜棒、电源等组成，实现高压静电的输送。所述控制单元用于控制运动单元的步进电机的启或停。本发明使用丝杠和光轴导轨在光学玻璃表面移动铜质棒状电极，覆盖面积大而且可以调整，应用范围更加广泛。使用铜质棒状电极，在光学玻璃表面所占体积很小，结构紧凑，空间利用率高，电场也更为集中。铜质棒状电极安装于尼龙槽上，便于替换和更改铜质棒状电极形状。
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