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公开(公告)号：CN111250481B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202010054196.8
申请日：2020-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用可移动式静电电场吸附颗粒污染物的装置，洁净制造技术领域。本发明的目的是解决高功率激光装置中光学元件表面颗粒污染物去除的问题。基座单元由装置基板、支撑架等零件组成；运动单元由丝杠、支撑轴承等组成实现静电极的往复运动；洁净单元由铜棒、电源等组成，实现高压静电的输送。所述控制单元用于控制运动单元的步进电机的启或停。本发明使用丝杠和光轴导轨在光学玻璃表面移动铜质棒状电极，覆盖面积大而且可以调整，应用范围更加广泛。使用铜质棒状电极，在光学玻璃表面所占体积很小，结构紧凑，空间利用率高，电场也更为集中。铜质棒状电极安装于尼龙槽上，便于替换和更改铜质棒状电极形状。
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公开(公告)号：CN111250481A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010054196.8
申请日：2020-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用可移动式静电电场吸附颗粒污染物的装置，洁净制造技术领域。本发明的目的是解决高功率激光装置中光学元件表面颗粒污染物去除的问题。基座单元由装置基板、支撑架等零件组成；运动单元由丝杠、支撑轴承等组成实现静电极的往复运动；洁净单元由铜棒、电源等组成，实现高压静电的输送。所述控制单元用于控制运动单元的步进电机的启或停。本发明使用丝杠和光轴导轨在光学玻璃表面移动铜质棒状电极，覆盖面积大而且可以调整，应用范围更加广泛。使用铜质棒状电极，在光学玻璃表面所占体积很小，结构紧凑，空间利用率高，电场也更为集中。铜质棒状电极安装于尼龙槽上，便于替换和更改铜质棒状电极形状。
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