公开(公告)号：CN118068656B

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410208941.8

申请日：2024-02-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宋法质 ,  武霭辰 ,  孙鹏宇 ,  董岳 ,  刘杨 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t)，yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t)，ek(t)输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k(t)，eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t)，efb,k(t)输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t)，ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。

公开(公告)号：CN118068656A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202410208941.8

申请日：2024-02-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宋法质 ,  武霭辰 ,  孙鹏宇 ,  董岳 ,  刘杨 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t)，yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t)，ek(t)输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k(t)，eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t)，efb,k(t)输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t)，ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。