公开(公告)号：CN116754565B

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202310977429.5

申请日：2023-08-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 程健 ,  陈继祥 ,  张紫晓 ,  赵林杰 ,  陈明君 ,  杨炜嵩 ,  杨丁槐 ,  杨子灿

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/64 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明一种光学元件全口径表面微缺陷光致荧光检测用自动对焦检测方法，涉及光学元件技术领域，为解决现有的对焦检测方法，需要手动对焦及检测，效率低，且无法保证检测结果的准确性和一致性的问题。包括如下步骤：一、安装物镜与待测光学元件；二、确定待检测区域内多个标定检测点坐标，构建检测物镜焦平面方程，制定检测扫描路径；三、控制元件沿检测扫描路径移动进行检测，判断待测点是否处于物镜焦平面，若是，则在该点进行扫描检测，若不是，则计算补偿量并控制移动平台在调焦方向对元件进行距离补偿；四、实时保存光谱信息及检测成像信息；五、根据检测扫描路径判断检测是否结束。实现了光学元件表面微缺陷光致荧光检测的自动对焦及检测。

公开(公告)号：CN116952978A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310977239.3

申请日：2023-08-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 程健 ,  陈继祥 ,  张紫晓 ,  赵林杰 ,  陈明君 ,  杨炜嵩 ,  杨丁槐 ,  杨子灿

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/64 ,  G01N21/01 ,  G05B19/418

Abstract: 本发明一种基于Labview的熔石英元件表面微缺陷光致荧光检测集成控制系统及方法，涉及光学元件技术领域，为解决现有的光致荧光检测系统操作时需要分别顺序控制激光器、光谱仪和三维电动平台等硬件设施，操作繁琐、效率低及稳定性差的问题。所述系统采用Labview进行开发，包括：激光器控制模块，用于激光器的控制及参数的实时显示；运动控制模块，用于电动平台使能的控制，元件运动的控制，并对元件位置的实时显示；数据采集子模块，用于对稳态荧光光谱数据的采集；数据处理子模块，用于对数据的荧光强度信息的提取；数据存储子模块，用于对最终的荧光强度矩阵文件的存储与提取；实时成像显示模块，用于稳态荧光光谱及探测区域的实时成像显示。

公开(公告)号：CN116754565A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202310977429.5

申请日：2023-08-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 程健 ,  陈继祥 ,  张紫晓 ,  赵林杰 ,  陈明君 ,  杨炜嵩 ,  杨丁槐 ,  杨子灿

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/64 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明一种光学元件全口径表面微缺陷光致荧光检测用自动对焦检测方法，涉及光学元件技术领域，为解决现有的对焦检测方法，需要手动对焦及检测，效率低，且无法保证检测结果的准确性和一致性的问题。包括如下步骤：一、安装物镜与待测光学元件；二、确定待检测区域内多个标定检测点坐标，构建检测物镜焦平面方程，制定检测扫描路径；三、控制元件沿检测扫描路径移动进行检测，判断待测点是否处于物镜焦平面，若是，则在该点进行扫描检测，若不是，则计算补偿量并控制移动平台在调焦方向对元件进行距离补偿；四、实时保存光谱信息及检测成像信息；五、根据检测扫描路径判断检测是否结束。实现了光学元件表面微缺陷光致荧光检测的自动对焦及检测。