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公开(公告)号：CN102353593B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201110144764.4
申请日：2011-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量杨氏模量的装置及方法，属于杨氏模量检测技术领域。它解决了采用传统的外差干涉技术测杨氏模量由于只能得到单一的待测参数值而使测量精度低的问题。本发明装置由H0固体激光器、振镜、四分之一波片、偏振分束镜、薄玻璃板、平面反射镜、会聚透镜、光电探测器、振镜驱动电源和信号处理系统组成；本发明方法将待测金属丝与砝码连接，对其施加拉力F；打开H0固体激光器及振镜的驱动电源，信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，获得薄玻璃板和平面反射镜之间的距离参数，记录该距离参数，多次增加砝码的质量M，计算获取杨氏模量值。本发明适用于杨氏模量的测量。
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公开(公告)号：CN102322997B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201110145053.9
申请日：2011-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 基于多光束激光外差二次谐波法与扭摆法测量微冲量的方法，涉及一种测量微冲量的方法。它解决了现有采用多光束激光外差测量微冲量的方法由于激光差频信号采集效果差、信号处理的运算速度慢导致的测量精度较低的问题。本发明采用多光束激光外差二次谐波法应用在微冲量测量方法中，将微冲量的测量转化为扭摆的摆角的测量，通过对平面标准镜厚度的测量可以间接得到待测摆角信息，有效的提高了测量的精度，在转动角度较小(小于5°)时，所测的冲量与入射角成线性关系，测量误差小于0.5％，能够满足激光微推力器冲量测量的要求，为评估激光微推力器的性能提供了很好的测量手段。
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公开(公告)号：CN102221502B
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201110145176.2
申请日：2011-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N3/08
Abstract: 多光束激光外差二次谐波测量杨氏模量的方法，涉及一种测量杨氏模量的方法。它解决了现有采用多光束激光外差测量杨氏模量的方法存在的由于激光外差拍频信号采集效果差、信号处理速度慢导致的测量精度较低的问题。它通过在光路中引入振镜，根据多普勒效应使不同时刻入射的光信号附加了一个光频，因此经过平面反射镜k次反射的光和k+2次反射光透过薄玻璃板后在满足干涉的条件下，产生多光束外差二次谐波信号，从而将待测信息成功地调制在中频外差二次谐波信号的频率差中。在测量样品杨氏模量的过程中，在频域得到了包含金属长度变化量的频率值，经信号解调后得到样品长度随砝码质量的变化量，计算可以获得样品的杨氏模量。本发明适用于测量杨氏模量。
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公开(公告)号：CN102353915A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110145089.7
申请日：2011-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R33/18
Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量磁致伸缩系数的装置及方法，属于微位移检测技术领域。它解决了现有磁致伸缩系数的测量方法的测量精度不能够满足超精密测量要求的问题。本发明使平面反射镜和不计厚度薄玻璃板相互平行、等高，并使不计厚度薄玻璃板与平面反射镜的反射面之间的距离d为mm，打开振镜的驱动电源使振镜开始做简谐振动；通过信号处理系统采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的信号进行处理，获得平面反射镜和不计厚度薄玻璃板之间的距离变化量，根据该距离变化量获得待测铁镍合金样品的磁致伸缩系数。本发明适用于测量铁磁体的磁致伸缩系数。
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公开(公告)号：CN102322997A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110145053.9
申请日：2011-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 基于多光束激光外差二次谐波法与扭摆法测量微冲量的方法，涉及一种测量微冲量的方法。它解决了现有采用多光束激光外差测量微冲量的方法由于激光差频信号采集效果差、信号处理的运算速度慢导致的测量精度较低的问题。本发明采用多光束激光外差二次谐波法应用在微冲量测量方法中，将微冲量的测量转化为扭摆的摆角的测量，通过对平面标准镜厚度的测量可以间接得到待测摆角信息，有效的提高了测量的精度，在转动角度较小(小于5°)时，所测的冲量与入射角成线性关系，测量误差小于0.5％，能够满足激光微推力器冲量测量的要求，为评估激光微推力器的性能提供了很好的测量手段。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102305682A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110145072.1
申请日：2011-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差的扭摆法测量微冲量的装置及方法，属于微冲量测量技术领域。它解决了现有采用外差干涉法测量微推力器的微冲量的方法由于只能得到单一的待测参数值，使得待测参数值的测量精度低的问题。本发明装置由数字信号处理系统、光电探测器、脉冲激光器、扭摆系统、H0固体激光器、偏振分束镜PBS、四分之一波片、振镜、平面标准镜和会聚透镜组成；方法为打开H0固体激光器和振镜的驱动电源；采用脉冲激光器发出脉冲激光激励工质靶，使该工质靶产生等离子体喷射使标准梁的横梁转动；数字信号处理系统采集光电探测器发出的信号，并进行处理，获得标准梁的横梁所受到的微冲量I′。本发明适用于测量微推力器的微冲量。
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公开(公告)号：CN101915542B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201010246041.0
申请日：2010-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双轴MEMS反射振镜和F-Theta透镜的线性扫描系统，它涉及一种利用光学透镜的扫描系统。它解决了现有的光学扫描系统适用波长单一且无法实现线性匀速扫描的问题，本发明包括2μm激光器、偏振分束棱镜、1/4波片、双轴MEMS反射振镜、三片式F-Theta透镜组、高反射镜和光电探测器，所述双轴MEMS反射振镜位于所述三片式F-Theta透镜组的系统焦距处。本发明适用于激光外差干涉仪的扫描系统。
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公开(公告)号：CN101915542A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010246041.0
申请日：2010-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种应用于激光外差干涉仪的基于双轴MEMS反射振镜和F-Theta透镜的线性扫描系统，它涉及一种利用光学透镜的扫描系统。它解决了现有的光学扫描系统适用波长单一且无法实现线性匀速扫描的问题，本发明包括激光器、偏振分束棱镜、1/4波片、双轴MEMS反射振镜、三片式F-Theta透镜组、高反射镜和光电探测器，所述双轴MEMS反射振镜位于所述三片式F-Theta透镜组的系统焦距处。本发明适用于激光外差干涉仪的扫描系统。
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公开(公告)号：CN102252652B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201110144752.1
申请日：2011-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C1/00
Abstract: 多光束激光外差二次谐波法测量激光入射角度的方法，涉及一种测量激光入射角度的装置及方法。它解决了现有采用多光束激光外差测量激光入射角度方法由于激光差频信号采集效果差、信号处理的运算速度慢导致的测量精度较低的问题。本发明通过在光路中加入振镜，使振镜做匀加速振动，对不同时刻入射到其前表面的光进行频率调制，把待测的角度信息加载到外差信号二次谐波的频率差中，进而获得激光入射角度信息。本发明适用于测量激光入射角度。
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公开(公告)号：CN102353490B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201110144669.4
申请日：2011-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差的扭摆法测量微冲量的装置及方法，属于微冲量测量技术领域。它解决了现有采用外差干涉法测量微推力器的微冲量的方法由于只能得到单一的待测参数值，使得待测参数值的测量精度低的问题。本发明装置由数字信号处理系统、光电探测器、脉冲激光器、扭摆系统、H0固体激光器、偏振分束镜PBS、四分之一波片、振镜、平面标准镜和会聚透镜组成；方法为打开H0固体激光器和振镜，采用脉冲激光器发出脉冲激光激励工质靶，使标准梁的横梁转动；数字信号处理系统采集光电探测器发出的信号，并对连续获得的所有信号进行处理，获得标准梁的横梁所受到的微冲量。本发明适用于微冲量的测量。
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