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公开(公告)号：CN112331613A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011345025.7
申请日：2020-11-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/768 , H01L23/48
Abstract: 一种基于超声‑压力复合工艺将液态金属快速填充至TSV的方法，本发明涉及一种基于超声‑压力复合工艺将液态金属快速填充至TSV的方法。本发明的目的是要解决现有TSV填充技术中的填充密度低以及不能填充高深宽比TSV的问题，本发明方法为：将带有TSV硅片固定在液态金属液面上方进行烘烤；然后下移至液态金属液中，超声变幅杆工具头同时下降并浸入金属液中，后开启超声波发生装置并向密封室内通入Ar气，液态金属在气压及超声的复合作用下填充至TSV中。本发明可实现高深宽比TSV硅微孔的高质量快速填充，孔径范围80‑300μm，孔深范围200‑500μm，填充率大于99％。本发明应用于硅通孔填充领域。
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公开(公告)号：CN108642399A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810478103.7
申请日：2018-05-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种有基高熵合金及其制备方法，它涉及一种高熵合金及制备方法。本发明的目的是要解决现有高熵合金的力学性能差，高熵合金内含有大块脆性的金属间化合物相和塑性差的问题。一种有基高熵合金按质量百分比由50％～90％合金基体和10％～50％合金化元素制备而成。方法：一、准备原料；二、采用电弧熔炼方法或感应熔炼方法对步骤一中称取的有基高熵合金的原料进行熔炼，得到有基高熵合金。本发明制备的有基高熵合金的屈服强度为1000MPa～2000MPa，断裂强度为2000MPa～4000MPa，极限应变εp(％)为20％～70％。本发明可获得一种有基高熵合金。
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公开(公告)号：CN105215272A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510762195.8
申请日：2015-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有微结构石膏铸型的制备方法，它涉及一种石膏铸型的制备方法。本发明的目的是要解决现有石膏成形的方法很难制备出成形结构尺寸在几十到几百微米的石膏铸型，制备的石膏铸型表面光洁度差，存在气孔缺陷，石膏铸型的后续干燥中易造成开裂或形成微裂纹缺陷的问题。方法：一、制备缓凝剂水溶液；二、制备石膏浆料；三、石膏浆料除气；四、浇注，超声波处理；五、静置；六、室温干燥；七、梯度干燥，得到具有微结构石膏铸型。使用本发明方法制备的具有微结构石膏铸型出现开裂和裂纹的频率降低，废品率显著下降，废品率为0％～4％。本发明可获得一种具有微结构石膏铸型的制备方法。
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公开(公告)号：CN108504890B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN201810478102.2
申请日：2018-05-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种有基高熵合金复合材料及其制备方法，它涉及一种高熵合金及制备方法。本发明的目的是要解决现有高熵合金存在力学强度和塑性不能提高和脆性大的问题。一种有基高熵合金复合材料按质量百分比由1％～20％增强相和80％～99％有基高熵合金基体制备而成。一、称取有基高熵合金复合材料原料；二、采用电弧熔炼方法或感应熔炼方法对步骤一中称取的有基高熵合金复合材料原料进行熔炼，得到有基高熵合金。本发明制备的有基高熵合金复合材料的屈服强度为1200MPa～2100MPa，断裂强度为2300MPa～4000MPa，极限应变εp(％)为20％～50％。本发明可获得一种有基高熵合金复合材料。
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公开(公告)号：CN108504890A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810478102.2
申请日：2018-05-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种有基高熵合金复合材料及其制备方法，它涉及一种高熵合金及制备方法。本发明的目的是要解决现有高熵合金存在力学强度和塑性不能提高和脆性大的问题。一种有基高熵合金复合材料按质量百分比由1％～20％增强相和80％～99％有基高熵合金基体制备而成。一、称取有基高熵合金复合材料原料；二、采用电弧熔炼方法或感应熔炼方法对步骤一中称取的有基高熵合金复合材料原料进行熔炼，得到有基高熵合金。本发明制备的有基高熵合金复合材料的屈服强度为1200MPa～2100MPa，断裂强度为2300MPa～4000MPa，极限应变εp(％)为20％～50％。本发明可获得一种有基高熵合金复合材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105215272B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201510762195.8
申请日：2015-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有微结构石膏铸型的制备方法，它涉及一种石膏铸型的制备方法。本发明的目的是要解决现有石膏成形的方法很难制备出成形结构尺寸在几十到几百微米的石膏铸型，制备的石膏铸型表面光洁度差，存在气孔缺陷，石膏铸型的后续干燥中易造成开裂或形成微裂纹缺陷的问题。方法：一、制备缓凝剂水溶液；二、制备石膏浆料；三、石膏浆料除气；四、浇注，超声波处理；五、静置；六、室温干燥；七、梯度干燥，得到具有微结构石膏铸型。使用本发明方法制备的具有微结构石膏铸型出现开裂和裂纹的频率降低，废品率显著下降，废品率为0％～4％。本发明可获得一种具有微结构石膏铸型的制备方法。
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公开(公告)号：CN112331613B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202011345025.7
申请日：2020-11-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/768 , H01L23/48
Abstract: 一种基于超声‑压力复合工艺将液态金属快速填充至TSV的方法，本发明涉及一种基于超声‑压力复合工艺将液态金属快速填充至TSV的方法。本发明的目的是要解决现有TSV填充技术中的填充密度低以及不能填充高深宽比TSV的问题，本发明方法为：将带有TSV硅片固定在液态金属液面上方进行烘烤；然后下移至液态金属液中，超声变幅杆工具头同时下降并浸入金属液中，后开启超声波发生装置并向密封室内通入Ar气，液态金属在气压及超声的复合作用下填充至TSV中。本发明可实现高深宽比TSV硅微孔的高质量快速填充，孔径范围80‑300μm，孔深范围200‑500μm，填充率大于99％。本发明应用于硅通孔填充领域。
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公开(公告)号：CN108642399B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201810478103.7
申请日：2018-05-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种有基高熵合金及其制备方法，它涉及一种高熵合金及制备方法。本发明的目的是要解决现有高熵合金的力学性能差，高熵合金内含有大块脆性的金属间化合物相和塑性差的问题。一种有基高熵合金按质量百分比由50％～90％合金基体和10％～50％合金化元素制备而成。方法：一、准备原料；二、采用电弧熔炼方法或感应熔炼方法对步骤一中称取的有基高熵合金的原料进行熔炼，得到有基高熵合金。本发明制备的有基高熵合金的屈服强度为1000MPa～2000MPa，断裂强度为2000MPa～4000MPa，极限应变εp(％)为20％～70％。本发明可获得一种有基高熵合金。
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公开(公告)号：CN105219989B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201510762213.2
申请日：2015-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02P10/234
Abstract: 一种铅锡合金铸造组织的晶粒细化方法，它涉及一种合金铸造组织的晶粒细化方式。本发明的目的是要解决现有化学法细化铅锡合金铸造组织容易造成成分偏析，影响铅锡合金的电学性能，物理法细化铅锡合金铸造组织存在设备复杂，能耗大、成本高和晶粒细化效果不大的问题。方法：一种铅锡合金铸造组织的晶粒细化方法为铅锡合金仅在制备铅锡合金熔体中施加超声波处理、铅锡合金仅在铅锡合金熔体浇注过程中施加超声波处理或铅锡合金在制备铅锡合金熔体和铅锡合金熔体浇注过程中均施加超声波处理。经过本发明处理后的铅锡合金铸造组织的晶粒尺寸为20μm～50μm。本发明可获得一种铅锡合金铸造组织的晶粒细化方法。
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公开(公告)号：CN106672946B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201611237919.8
申请日：2016-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C01B32/184 , C09K11/65
Abstract: 一种基于紫外超声复合工艺制备石墨烯量子点的方法，它涉及一种石墨烯量子点的制备方法。本发明的目的是要解决现有方法制备的石墨烯量子点不能实现石墨烯量子点尺寸和形貌精确控制，步骤繁琐，效率低下，仅限于实验室少量制备，不能制备更加超小尺寸石墨烯量子点的问题。方法：一、制备单层或少层分散性良好的氧化石墨烯水溶液；二、制备pH值为3～10的混合液；三、超声下紫外辐照，干燥，得到石墨烯量子点。本发明可以高效制备尺寸均匀，尤其是更加超小尺寸的石墨烯量子点，本发明制备的石墨烯量子点的尺寸为3nm～5nm。本发明可获得一种基于紫外超声复合工艺制备石墨烯量子点的方法。
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