公开(公告)号：CN108154004A

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201711432502.1

申请日：2017-12-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 朱嘉琦 ,  王杨 ,  代兵 ,  孙侨阳 ,  刘康 ,  舒国阳 ,  高鸽 ,  赵继文 ,  刘本建 ,  杨磊 ,  韩杰才

IPC: G06F19/00 ,  C30B25/16 ,  C30B25/18

Abstract: 本发明提供基于过渡层对外延薄膜与衬底结合力评价的过渡层材料选择方法，属于薄膜生长理论技术领域，具体涉及过渡层选择方法。本发明首先对选取的若干过渡层材料建立界面模型；然后计算无过渡层存在时的界面性能，判定是否需要过渡层；如需要过渡层，分别计算选取的不同材料作为过渡层时，衬底/过渡层和过渡层/薄膜的界面性能，并根据界面处净电荷量变化量和原子间化学键布居数，对过渡层对衬底和过渡层对薄膜的结合力进行综合评价并排序；根据排序结果选择前2～3种过渡层材料。本发明解决了现有技术确定是否需要过渡层，以及选取何种材料作为过渡层时，存在耗时长、浪费人力物力的问题。本发明可运用于薄膜的制备。

公开(公告)号：CN108154004B

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201711432502.1

申请日：2017-12-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 朱嘉琦 ,  王杨 ,  代兵 ,  孙侨阳 ,  刘康 ,  舒国阳 ,  高鸽 ,  赵继文 ,  刘本建 ,  杨磊 ,  韩杰才

IPC: G16C10/00 ,  G16C20/50 ,  C30B25/16 ,  C30B25/18

Abstract: 本发明提供基于过渡层对外延薄膜与衬底结合力评价的过渡层材料选择方法，属于薄膜生长理论技术领域，具体涉及过渡层选择方法。本发明首先对选取的若干过渡层材料建立界面模型；然后计算无过渡层存在时的界面性能，判定是否需要过渡层；如需要过渡层，分别计算选取的不同材料作为过渡层时，衬底/过渡层和过渡层/薄膜的界面性能，并根据界面处净电荷量变化量和原子间化学键布居数，对过渡层对衬底和过渡层对薄膜的结合力进行综合评价并排序；根据排序结果选择前2～3种过渡层材料。本发明解决了现有技术确定是否需要过渡层，以及选取何种材料作为过渡层时，存在耗时长、浪费人力物力的问题。本发明可运用于薄膜的制备。