公开(公告)号：CN110129742B

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN201910548524.7

申请日：2019-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 田修波 ,  孔营 ,  巩春志 ,  吴厚朴 ,  田钦文

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法，它涉及一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法。本发明的目的是为了解决现有多弧工艺中加入TMS后，弧靶很容易中毒，导致放电不稳定、偏流降低，膜层质量不好的问题，本发明以氮气和由含碳、硅元素的有机硅为反应气体，经过基体的清洗干燥、离子增强辉光刻蚀、沉积过渡层、将TiSiCN涂层沉积于基体表面。本发明涂层具有高硬度以及优异的断裂韧性，克服了涂层硬度高但韧性不足的问题，膜的硬度高达47.1GPa，压痕韧性5.22MPa·m1/2。本发明应用于硬质涂层技术领域。

公开(公告)号：CN110129742A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910548524.7

申请日：2019-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 田修波 ,  孔营 ,  巩春志 ,  吴厚朴 ,  田钦文

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法，它涉及一种超硬强韧TiSiCN硬质涂层的制备方法。本发明的目的是为了解决现有多弧工艺中加入TMS后，弧靶很容易中毒，导致放电不稳定、偏流降低，膜层质量不好的问题，本发明以氮气和由含碳、硅元素的有机硅为反应气体，经过基体的清洗干燥、离子增强辉光刻蚀、沉积过渡层、将TiSiCN涂层沉积于基体表面。本发明涂层具有高硬度以及优异的断裂韧性，克服了涂层硬度高但韧性不足的问题，膜的硬度高达47.1GPa，压痕韧性5.22MPa·m1/2。本发明应用于硬质涂层技术领域。