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公开(公告)号：CN110701998A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201911036469.X
申请日：2019-10-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的参考光束与测量光束之间的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度位移测量；本发明实现了对光纤迈克尔逊干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN110726366A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201911031866.8
申请日：2019-10-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 光纤法布里珀罗干涉仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明在不需要改变反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的测量的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度位移测量；本发明实现了对光纤法布里珀罗干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
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