公开(公告)号：CN105764885A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201480064490.X

申请日：2014-11-21

Applicant: 和光纯药工业株式会社

Inventor： 酒井信彦 ,  簗场康佑

IPC: C07C317/24 ,  C07C317/44 ,  C07D335/16 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  B01J19/127 ,  C07C317/14 ,  C07C317/24 ,  C07C317/44 ,  C07C2603/24 ,  C07D335/16 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031

Abstract: 本发明的课题是提供一种对波长300～450nm附近的活性能量射线具有高的灵敏度，并且能够发挥高的酸产生能力和自由基产生能力的两者的性能，并且，进一步地提供具有耐热性的酸以及自由基产生剂、和酸以及自由基的产生方法。本发明提供一种通式(A)表示的化合物、含有该化合物的酸以及自由基产生剂、和酸以及自由基的产生方法。通式(A)中，n个的R1分别独立地表示：可在链中具有特定的官能团并且可被卤原子取代的烷基；可被卤原子取代的烷氧基；可被卤原子、烷基或卤烷基取代的芳基或芳氧基；或者，可被卤原子、烷基或卤烷基取代的芳基烷基或芳基烷基氧基。n个的R2以及R3分别独立地表示：氢原子、烷基或烷氧基羰基。R4～R7分别独立地表示：氢原子、卤原子、烷基、烷氧基、烯基、芳基、烷氧基羰基、二烷基氨基或硝基。Y表示：氧原子、硫原子或羰基。n个的Z分别独立地表示：磺酰基或烷氧基磷酰基。n表示：1或2，。