公开(公告)号：CN118884591B

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202411168208.4

申请日：2024-08-23

Applicant: 同济大学 ,  中国计量科学研究院

Inventor： 邓晓 ,  程鑫彬 ,  王建波 ,  殷聪 ,  李同保 ,  薛栋柏 ,  周通 ,  肖光旭 ,  沈俊宇 ,  尹志珺

IPC: G02B5/18 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置，涉及原子光刻技术领域，装置中光学频率梳的输出端与倍频光路连接；连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接；倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接；保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接；拍频检测光路的输出端通过光电接收器与功分器的输入端连接；频率计数器的输入端与功分器的第一输出端连接；偏频锁定系统的输入端与功分器的第二输出端连接；偏频锁定系统的输出端与连续可调谐激光器的控制输入端连接，本发明在实现原子光刻光栅尺寸拓展的同时保证了光栅的高衍射效率。

公开(公告)号：CN118980860B

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202411168206.5

申请日：2024-08-23

Applicant: 同济大学 ,  中国计量科学研究院

Inventor： 程鑫彬 ,  邓晓 ,  殷聪 ,  王建波 ,  李同保 ,  周通 ,  薛栋柏 ,  肖光旭 ,  沈俊宇 ,  尹志珺

IPC: G01R23/14

Abstract: 本发明公开了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置，涉及跃迁频率测量领域，装置包括，连续可调谐激光器，原子炉，铬原子束，光学频率梳，倍频光路，保偏光纤分束器，保偏光纤合束器，拍频检测光路，光电接收器以及频率计数器；连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接；光学频率梳的输出端与倍频光路连接；倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接；铬原子束经原子炉喷发与保偏光纤分束器的第二输出端发生作用；保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接；拍频检测光路的输出端通过光电接收器与频率计数器的输入端连接。本方法填补了蓝紫光波段波长基准的空白。

公开(公告)号：CN118980860A

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202411168206.5

申请日：2024-08-23

Applicant: 同济大学 ,  中国计量科学研究院

Inventor： 程鑫彬 ,  邓晓 ,  殷聪 ,  王建波 ,  李同保 ,  周通 ,  薛栋柏 ,  肖光旭 ,  沈俊宇 ,  尹志珺

IPC: G01R23/14

Abstract: 本发明公开了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置，涉及跃迁频率测量领域，装置包括，连续可调谐激光器，原子炉，铬原子束，光学频率梳，倍频光路，保偏光纤分束器，保偏光纤合束器，拍频检测光路，光电接收器以及频率计数器；连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接；光学频率梳的输出端与倍频光路连接；倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接；铬原子束经原子炉喷发与保偏光纤分束器的第二输出端发生作用；保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接；拍频检测光路的输出端通过光电接收器与频率计数器的输入端连接。本方法填补了蓝紫光波段波长基准的空白。

公开(公告)号：CN118884591A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411168208.4

申请日：2024-08-23

Applicant: 同济大学 ,  中国计量科学研究院

Inventor： 邓晓 ,  程鑫彬 ,  王建波 ,  殷聪 ,  李同保 ,  薛栋柏 ,  周通 ,  肖光旭 ,  沈俊宇 ,  尹志珺

IPC: G02B5/18 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置，涉及原子光刻技术领域，装置中光学频率梳的输出端与倍频光路连接；连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接；倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接；保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接；拍频检测光路的输出端通过光电接收器与功分器的输入端连接；频率计数器的输入端与功分器的第一输出端连接；偏频锁定系统的输入端与功分器的第二输出端连接；偏频锁定系统的输出端与连续可调谐激光器的控制输入端连接，本发明在实现原子光刻光栅尺寸拓展的同时保证了光栅的高衍射效率。

公开(公告)号：CN119105121A

公开(公告)日：2024-12-10

申请号：CN202411227540.3

申请日：2024-09-03

Applicant: 同济大学

Inventor： 程鑫彬 ,  邓晓 ,  肖光旭 ,  薛栋柏 ,  李同保 ,  林子超 ,  唐朝辉 ,  沈俊宇 ,  尹志珺 ,  周通

IPC: G02B5/18 ,  H05H3/02 ,  C23C14/24 ,  C23C14/18 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种高衍射效率的直接溯源型光栅制备方法，属于高精密光栅制造领域，包括以下步骤：1)基于高温热蒸发法在真空中产生中性原子束；2)采用激光多普勒冷却降低中性原子束横向运动速度；3)利用激光驻波场对原子束进行会聚，并使其垂直沉积到基板上并形成直接溯源型光栅结构；4)在直接溯源型光栅表面利用热蒸发法依次蒸镀金属膜与保护膜，获得高衍射效率的直接溯源型光栅标准样板。本发明提供了一种高衍射效率的直接溯源型光栅制备方法，能够显著提高直接溯源型光栅的衍射效率，操作简单，同时能够不破坏直接溯源型光栅的自溯源性。

公开(公告)号：CN119197336A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411401655.X

申请日：2024-10-09

Applicant: 同济大学

Inventor： 程鑫彬 ,  邓晓 ,  李同保 ,  薛栋柏 ,  周通 ,  肖光旭 ,  沈俊宇 ,  尹志珺 ,  林子超

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于铬原子跃迁频率的纳米长度计量系统及方法，属于纳米长度计量领域，所述纳米长度计量系统包括物理波长基准和工作标准物质，所述物理波长基准为锁定至铬原子(7S3→7P4)跃迁谱线的425.55nm激光波长，所述工作标准物质为利用原子光刻方法制备的铬自溯源系列光栅，光栅周期均溯源于物理波长基准，所述铬自溯源系列光栅包括一维铬自溯源光栅和二维铬自溯源光栅。本发明采用上述的一种基于铬原子跃迁频率的纳米长度计量系统，利用激光汇聚原子沉积的方式将铬原子跃迁频率这一自然常数物化到铬自溯源光栅上，使光栅具有独立溯源性的同时又具有超高准确性和一致性。