公开(公告)号：CN100576070C

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200510031064.9

申请日：2005-10-21

Applicant: 同济大学

Inventor： 周斌 ,  徐翔 ,  徐纪平 ,  陆卫昌 ,  刘春泽 ,  徐超 ,  张志华

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明属溶胶—凝胶法制备ZrO2光敏凝胶薄膜及光栅图形的转移方法。采用溶胶—凝胶法，以锆酸丁酯为前驱体、无水乙醇或丙酮为有机溶剂，并加入苯甲酰丙酮，与Zr形成光敏鳌合物溶胶。再以石英、单晶硅或K9玻璃等为基底，制得光敏凝胶薄膜。采用掩膜结合紫外曝光、显影及后续热处理可在薄膜表面引入光栅图形。本发明具有工艺流程少，制作成本低廉，可调节性强等优点。也可以很方便地实现大面积光栅图形的转移。另外，溶胶凝胶法制作出的衍射光栅具有较高的激光损伤阈值，可应用于精密的光谱分光元件、光存储技术、平面显示器以及航空航天遥感成像光谱仪等方面。

公开(公告)号：CN1952776A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200510031064.9

申请日：2005-10-21

Applicant: 同济大学

Inventor： 周斌 ,  徐翔 ,  徐纪平 ,  陆卫昌 ,  刘春泽 ,  徐超 ,  张志华

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明属溶胶—凝胶法制备ZrO2光敏凝胶薄膜及光栅图形的转移方法。采用溶胶—凝胶法，以锆酸丁酯为前驱体、无水乙醇或丙酮为有机溶剂，并加入苯甲酰丙酮，与Zr形成光敏鳌合物溶胶。再以石英、单晶硅或K9玻璃等为基底，制得光敏凝胶薄膜。采用掩膜结合紫外曝光、显影及后续热处理可在薄膜表面引入光栅图形。本发明具有工艺流程少，制作成本低廉，可调节性强等优点。也可以很方便地实现大面积光栅图形的转移。另外，溶胶凝胶法制作出的衍射光栅具有较高的激光损伤阈值，可应用于精密的光谱分光元件、光存储技术、平面显示器以及航空航天遥感成像光谱仪等方面。