公开(公告)号：CN102420260A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110342263.7

申请日：2011-11-03

Applicant: 同济大学

Inventor： 吴永刚 ,  刘仁臣 ,  夏子奂 ,  唐平林

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及薄膜太阳能电池的背散射表面及其制备方法，作为背散射表面的薄膜为复合膜，由与衬底直接接触的较低温度下易改变形貌的金属与Ag膜复合而成，金属膜的厚度范围是250nm~600nm，Ag膜的厚度范围是20nm~50nm，且复合膜的表面呈现亚微米尺度的粗糙结构形貌。制备采用物理气相沉积方法，在高真空环境中：在对衬底加热的条件下，在衬底上先沉积金属膜，再沉积Ag膜，构成复合膜；或者，在室温条件下，在衬底上先沉积金属膜，再沉积Ag膜，构成复合膜，然后对沉积的复合膜进行真空热处理，温度均为150～250℃。形成的复合膜表面具有大的漫射特性，且金属膜改变形貌的温度比较低，降低表面粗糙化所需要的热处理温度，同时减少了贵金属Ag的消耗，降低制作成本。