公开(公告)号：CN102420260A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110342263.7

申请日：2011-11-03

Applicant: 同济大学

Inventor： 吴永刚 ,  刘仁臣 ,  夏子奂 ,  唐平林

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及薄膜太阳能电池的背散射表面及其制备方法，作为背散射表面的薄膜为复合膜，由与衬底直接接触的较低温度下易改变形貌的金属与Ag膜复合而成，金属膜的厚度范围是250nm~600nm，Ag膜的厚度范围是20nm~50nm，且复合膜的表面呈现亚微米尺度的粗糙结构形貌。制备采用物理气相沉积方法，在高真空环境中：在对衬底加热的条件下，在衬底上先沉积金属膜，再沉积Ag膜，构成复合膜；或者，在室温条件下，在衬底上先沉积金属膜，再沉积Ag膜，构成复合膜，然后对沉积的复合膜进行真空热处理，温度均为150～250℃。形成的复合膜表面具有大的漫射特性，且金属膜改变形貌的温度比较低，降低表面粗糙化所需要的热处理温度，同时减少了贵金属Ag的消耗，降低制作成本。

公开(公告)号：CN102364360A

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201110341142.0

申请日：2011-11-02

Applicant: 同济大学

Inventor： 吴永刚 ,  伍和云 ,  吕刚 ,  王振华 ,  夏子奂 ,  刘仁臣

IPC: G02B5/20 ,  G01B11/14

Abstract: 本发明涉及非偏振可调谐导模共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法，系统由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其中，导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光片的光栅层平行相向，且条纹相互垂直，两个光栅层之间为空气间隙层。通过测量入射光经过系统后TE0模式或TM0模式的两个分裂反射峰在光谱区域的间距，可得到两光栅之间纳米间隙的大小(

公开(公告)号：CN102364360B

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201110341142.0

申请日：2011-11-02

Applicant: 同济大学

Inventor： 吴永刚 ,  伍和云 ,  吕刚 ,  王振华 ,  夏子奂 ,  刘仁臣

IPC: G02B5/20 ,  G01B11/14

Abstract: 本发明涉及非偏振可调谐导模共振滤光片系统及其测量纳米间隙的方法，系统由两个相同的导模共振滤光片平行相向放置构成，每个导模共振滤光片均由衬底层、波导层和光栅层构成，其中，导模共振滤光片系统为正交双光栅系统，两个导模共振滤光片的光栅层平行相向，且条纹相互垂直，两个光栅层之间为空气间隙层。通过测量入射光经过系统后TE0模式或TM0模式的两个分裂反射峰在光谱区域的间距，可得到两光栅之间纳米间隙的大小(