公开(公告)号：CN103018213B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201110288811.2

申请日：2011-09-26

Applicant: 同济大学

Inventor： 刘永利 ,  张锦龙 ,  程鑫彬 ,  马彬 ,  焦宏飞 ,  丁涛 ,  韩金 ,  张艳云 ,  王玲 ,  王占山

IPC: G01N21/59

Abstract: 本发明涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，其方法具体包括以下步骤：1)测量基板在入射角为0°时的透射率T0°；2)根据1)中测得的透射率T0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和；3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；4)计算偏振特性因子p；5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；6)计算测试样品S光和P光的透射率TS和TP。与现有技术相比，本发明在理论上消除偏振因素对测量结果的影响，提高了测量精度，而且测量中通过旋转测试样品的入射面来实现在S光和P光之间的切换，降低了对偏振器的精度要求，从而降低了测量成本。

公开(公告)号：CN103018213A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201110288811.2

申请日：2011-09-26

Applicant: 同济大学

Inventor： 刘永利 ,  张锦龙 ,  程鑫彬 ,  马彬 ,  焦宏飞 ,  丁涛 ,  韩金 ,  张艳云 ,  王玲 ,  王占山

IPC: G01N21/59

Abstract: 本发明涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，其方法具体包括以下步骤：1)测量基板在入射角为0°时的透射率T0°；2)根据1)中测得的透射率T0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和；3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；4)计算偏振特性因子p；5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；6)计算测试样品S光和P光的透射率TS和TP。与现有技术相比，本发明在理论上消除偏振因素对测量结果的影响，提高了测量精度，而且测量中通过旋转测试样品的入射面来实现在S光和P光之间的切换，降低了对偏振器的精度要求，从而降低了测量成本。