公开(公告)号：CN103236464B

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201310140672.8

申请日：2013-04-14

Applicant: 吉林大学

Inventor： 阮圣平 ,  谷学汇 ,  孟凡旭 ,  刘彩霞 ,  沈亮 ,  周敬然 ,  郭文滨 ,  温善鹏 ,  董玮 ,  张歆东 ,  刘奎学 ,  陈丽华

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 聚乙烯亚胺作为界面修饰层的TiO2紫外探测器及其制备方法，属于半导体光电器件技术领域。探测器由石英衬底、作为光敏层的TiO2薄膜和金属叉指电极组成，其特征在于：TiO2薄膜经羟基化处理，并在其与金属叉指电极之间制备有聚乙烯亚胺界面修饰层。首先，采用溶胶凝胶法制备TiO2薄膜，将制备好的薄膜进行羟基化处理，再将制备好的PEI溶液旋涂在羟基化处理后的TiO2薄膜上，最后采用磁控溅射的方法制备金属叉指电极，从而得到最后的紫外探测器。通过引入PEI作为界面修饰层，可以有效降低势垒的高度，进而改善光电流及响应速度，提高器件的整体性能。

公开(公告)号：CN103236464A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201310140672.8

申请日：2013-04-14

Applicant: 吉林大学

Inventor： 阮圣平 ,  谷学汇 ,  孟凡旭 ,  刘彩霞 ,  沈亮 ,  周敬然 ,  郭文滨 ,  温善鹏 ,  董玮 ,  张歆东 ,  刘奎学 ,  陈丽华

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 聚乙烯亚胺作为界面修饰层的TiO2紫外探测器及其制备方法，属于半导体光电器件技术领域。探测器由石英衬底、作为光敏层的TiO2薄膜和金属叉指电极组成，其特征在于：TiO2薄膜经羟基化处理，并在其与金属叉指电极之间制备有聚乙烯亚胺界面修饰层。首先，采用溶胶凝胶法制备TiO2薄膜，将制备好的薄膜进行羟基化处理，再将制备好的PEI溶液旋涂在羟基化处理后的TiO2薄膜上，最后采用磁控溅射的方法制备金属叉指电极，从而得到最后的紫外探测器。通过引入PEI作为界面修饰层，可以有效降低势垒的高度，进而改善光电流及响应速度，提高器件的整体性能。