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公开(公告)号：CN1094855A
公开(公告)日：1994-11-09
申请号：CN94102729.5
申请日：1994-03-15
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明为一种用于微波移相的微波器件。由环形器和反射终端盒构成，二者用同轴接头联接。反射终端电路板刻蚀成直流对称式偏置结构的分布参数电路和焊接有非定常变容指数γ的微带型二极管。分布参数电路包括有偏置电容C1、C2，高阻微带线电感18、19，1/4波长微带线4，环形器端口1，偏置电压端口5等。本发明具有能工作在X波段以下，移相跟偏置电压成线性关系，能连续360°移相，波动幅度均匀，制版工艺简单，制作成品率高等特点。
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公开(公告)号：CN1032507C
公开(公告)日：1996-08-07
申请号：CN94102729.5
申请日：1994-03-15
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明为一种用于微波移相的微波器件。由环形器和反射终端盒构成，二者用同轴接头联接。反射终端电路板刻蚀成直流对称式偏置结构的分布参数电路和焊接有非定常变容指数r的微带型二级管。分布参数电路包括有偏置电容C2、C2，高阻微带线电感18，19，1/4波长微带线4，环形器端口1，偏置电压端口5等。本发明具有能工作在X波段以下，移相跟偏置电压成线性关系，能连续360°移相，波动幅度均匀，制版工艺简单，制作成品率高等特点。
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公开(公告)号：CN100439931C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200510119034.3
申请日：2005-11-29
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: Y04S10/522
Abstract: 本发明的可校准电压的电光探测器属用于集成电路检测的装置。由激光器8、显微镜物镜头13、电光探头14；照明光源15、滤光镜16、光电探测器26等组成；所说的电光探头14是由透明基板1、其上表面镀有消反射膜2、其下表面镀有接地导电膜3、在接地导电膜3下的电光介质层4构成，电光介质层4的极化方向和光束传播方向皆与接地导电膜3的法向平行。本发明的电光探头输出的电光信号所对应的电路里电压信号幅度能够予以校准，增强了电光探测技术在集成电路芯片内部特性测试和电路故障诊断方面的应用；电光探头具有较高的电压灵敏度和较高的探测电场分布的空间分辨率；对电路工作状态无可观测的干扰；避免相邻信号传输线间的电光串信号。
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公开(公告)号：CN1036945C
公开(公告)日：1998-01-07
申请号：CN94102728.7
申请日：1994-03-15
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明是用于在片检测共面集成电路芯片电学特性的信号传输装置。其中，探针板下表面装有信号线15，正面地线16，导电触头19，上表面装有背面地线8，所有地线及导电金属模板2通过低温金属焊料和导电丝电接通。导电触头由软金属内包一硬金属球构成。绝缘介质柱7下端为一半柱面台阶状，其中的中心导线3与信号线15用低温金属焊料4电接通。本发明具有插入和反射损耗小、带宽增加、特征阻抗均匀连续、降低地回路中射频电感、导电触头耐用不损坏芯片等优点。
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公开(公告)号：CN102207514A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110069706.X
申请日：2011-03-23
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于集成电路故障诊断技术领域，具体涉及一种新型的基于流体电光材料的电光探头及应用该电光探头对集成电路表面电场进行探测的方法。电光探头在沿入射光的方向上依次由透明基底、透明导电层、反射层、环状绝缘层、流体电光材料层和待测电路组成。本发明利用流体态的电光材料作为电信号转化为光信号的媒介，一方面解决了传统的固体探头与被测电路之间不可避免存在空气隙的问题，因此降低了电光转化损耗，提高电场测量的灵敏度；另一方面由于电光材料的可转动的特性，电光分子在电场作用下的取向效应从本质上提高了电场测量的灵敏度，本发明使最小可测量电压达到10mV量级。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101609134B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200910067242.1
申请日：2009-07-03
Applicant: 吉林大学
IPC: G01R35/00 , G01R31/311
Abstract: 本发明属于集成电路电光采样技术领域，具体涉及一种对电光探测器的调制信号电压进行校准的方法，是对集成电路故障诊断时在近直流区域(10MHz以内)对被测电压定标校准的新技术。电压定标测量一直是电光检测技术有待解决的问题。本发明利用近直流的低频区域内电光材料的压电谐振峰，提高电光检测的电压灵敏度两个数量级。在探头的电光介质层的上表面引入参考电极，并在参考电极上接入与被测电路相同频率的并与被测电压信号同相和反相的已知电压幅度的电信号作为比较标准，实现对被测电压幅值的标定，平均测量误差小于6％，满足集成电路故障诊断的需求。
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公开(公告)号：CN1790036A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510119034.3
申请日：2005-11-29
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: Y04S10/522
Abstract: 本发明的可校准电压的电光探测器属用于集成电路检测的装置。由激光器8、显微镜物镜头13、电光探头14；照明光源15、滤光镜16、光电探测器26等组成；所说的电光探头14是由透明基板1、其上表面镀有消反射膜2、其下表面镀有接地导电膜3、在接地导电膜3下的电光介质层4构成，电光介质层4的极化方向和光束传播方向皆与接地导电膜3的法向平行。本发明的电光探头输出的电光信号所对应的电路里电压信号幅度能够予以校准，增强了电光探测技术在集成电路芯片内部特性测试和电路故障诊断方面的应用；电光探头具有较高的电压灵敏度和较高的探测电场分布的空间分辨率；对电路工作状态无可观测的干扰；避免相邻信号传输线间的电光串信号。
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公开(公告)号：CN1093831A
公开(公告)日：1994-10-19
申请号：CN94103062.8
申请日：1994-02-28
Applicant: 吉林大学
Abstract: 高速电路电光采样分析仪可用于III-V族化合物半导体为衬底的平面型高速器件和集成电路芯片内部各点上的动态特性的在片检测，一种内照明摄像体视显微镜被用于微波探针测量操作和采样光点的观察，通过微波探针台的微调位移实现高速电路芯片在高速运转中相对于采样光点的位置调节，利用电光采样光学组件提高光学系统的稳定性，利用大型工具显微镜的机架和工作台完成高速电路电光采样分析仪各部件的组装。
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公开(公告)号：CN102207514B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201110069706.X
申请日：2011-03-23
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于集成电路故障诊断技术领域，具体涉及一种新型的基于流体电光材料的电光探头及应用该电光探头对集成电路表面电场进行探测的方法。电光探头在沿入射光的方向上依次由透明基底、透明导电层、反射层、环状绝缘层、流体电光材料层和待测电路组成。本发明利用流体态的电光材料作为电信号转化为光信号的媒介，一方面解决了传统的固体探头与被测电路之间不可避免存在空气隙的问题，因此降低了电光转化损耗，提高电场测量的灵敏度；另一方面由于电光材料的可转动的特性，电光分子在电场作用下的取向效应从本质上提高了电场测量的灵敏度，本发明使最小可测量电压达到10mV量级。
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公开(公告)号：CN101609134A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910067242.1
申请日：2009-07-03
Applicant: 吉林大学
IPC: G01R35/00 , G01R31/311
Abstract: 本发明属于集成电路电光采样技术领域，具体涉及一种对电光探测器的调制信号电压进行校准的方法，是对集成电路故障诊断时在近直流区域(10MHz以内)对被测电压定标校准的新技术。电压定标测量一直是电光检测技术有待解决的问题。本发明利用近直流的低频区域内电光材料的压电谐振峰，提高电光检测的电压灵敏度两个数量级。在探头的电光介质层的上表面引入参考电极，并在参考电极上接入与被测电路相同频率的并与被测电压信号同相和反相的已知电压幅度的电信号作为比较标准，实现对被测电压幅值的标定，平均测量误差小于6％，满足集成电路故障诊断的需求。
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