公开(公告)号：CN1093831A

公开(公告)日：1994-10-19

申请号：CN94103062.8

申请日：1994-02-28

Applicant: 吉林大学

Inventor： 衣茂斌 ,  孙伟 ,  田晓建

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/26

Abstract: 高速电路电光采样分析仪可用于III-V族化合物半导体为衬底的平面型高速器件和集成电路芯片内部各点上的动态特性的在片检测，一种内照明摄像体视显微镜被用于微波探针测量操作和采样光点的观察，通过微波探针台的微调位移实现高速电路芯片在高速运转中相对于采样光点的位置调节，利用电光采样光学组件提高光学系统的稳定性，利用大型工具显微镜的机架和工作台完成高速电路电光采样分析仪各部件的组装。

公开(公告)号：CN1038784C

公开(公告)日：1998-06-17

申请号：CN94103062.8

申请日：1994-02-28

Applicant: 吉林大学

Inventor： 衣茂斌 ,  孙伟 ,  田晓建

IPC: G01R31/26

Abstract: 高速电路芯片电光采样分析仪可用于Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体为衬底的平面型高速器件和集成电路芯片内部各点上的动态特性的在片检测。一种内照明摄像体视显微镜被用于微波探针测量操作和采样光点的观察，通过微波探针台的微调位移实现高速电路芯片在高速运转状态下相对于采样光点的位置调节，利用电光采样光学组件提高光学系统的稳定性，利用大型工具显微镜的机架和工作台完成高速电路芯片电光采样分析仪各部件的组装。