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公开(公告)号：CN109962013B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201711398784.8
申请日：2017-12-22
Applicant: 吉林大学 , 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L21/28 , H01L21/822
Abstract: 本发明公开了一种解码大脑活动的针状高密度电极阵列的制备方法，属于高密度电极阵列制备技术领域，首先通过Cadence软件设计需要的电极连线和电极记录位点，采用标准的0.18μm CMOS流片工艺，制备出有高密度电极阵列的硅基片，然后利用碳化硅粉末将基片进行减薄，然后用抛光液对基片进行抛光处理提高基片表面质量，最后通过程序控制扫描振镜的方式来控制飞秒激光的运动轨迹，在基片上图案化切割出具有生物安全性、稳定性并且边缘光滑的针状高密度电极阵列，便于在植入脑内过程中不损伤神经纤维，实现对神经元活动信号高精度的采集。
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公开(公告)号：CN112091419B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010978499.9
申请日：2020-09-17
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/352 , B23K26/362 , B23K26/60 , G01L1/18 , G01L9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于百TW/cm2量级高强度激光高效制备柔性压力传感器模板的方法，属于柔性压力传感器模板技术领域，首先基于百TW/cm2高强度激光在硅片以及金属表面上制备微结构模板，通过扫描振镜系统调控高强度激光的运动轨迹及速度，可以实现模板的图案化制备，接下来对模板进行表面硅烷化处理，并通过生长一层Parylene的方式减少模板与PDMS间的粘附性，增加翻模成功率，并且在模板表面形成坚固光滑的保护膜以便于多次翻模。在本发明中主要采用高强度激光烧蚀的方式一方面可以实现模板高效快速制备，并且对材料没有选择性，另一方面通过引入尺寸较小的微纳米结构，有效的提高器件的稳定性以及灵敏度，这在传感器制备领域具有巨大的应用潜力以及诱人的发展前景。
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公开(公告)号：CN113092540B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110312310.7
申请日：2021-03-24
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种新型高灵敏微湿度传感器及其制备方法，属于湿度传感器技术领域，该器件由两层PEGDA/PI薄膜正对组装在一起构成；其中，所述PEGDA/PI薄膜是由PEGDA水凝胶粘附在PI衬底上，通过飞秒激光直写技术在PEGDA表面引入微纳结构制备得到，并在PEGDA上附加一层碳纳米薄膜，银浆滴涂在器件两侧用以连接电极。本发明采用水凝胶作为湿敏材料，制备出体积小、灵敏度高的传感器，微米级别大小的精密PEGDA/PI薄膜，利于传感器小型化和集成化。本发明提出的高灵敏微型湿度传感器结构精细，具有微结构的PEGDA水凝胶的吸失水的膨胀收缩能力与飞秒激光直写扫描间距呈现近似线性的关系，微纳结构的尺寸通过改变激光加工的参数来调控光交联程度，进而调控水凝胶的膨胀/收缩率。
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公开(公告)号：CN112067079B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202010978512.0
申请日：2020-09-17
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器及其制备方法，属于压力传感器技术领域，采用飞秒激光光丝实现图案化高浓度掺杂，制备出压敏电阻，采用飞秒直写系统对注入层进行退火处理，沉积钝化层并通过光刻、刻蚀得到接触孔，通过光刻、磁控溅射得到金属铝导线和焊盘。在背面通过光刻、刻蚀得到硅杯窗口，通过腐蚀得到应变膜。制备好的器件与硼硅玻璃进行键合，制备出阵列式硅杯型压力传感器，本发明采用飞秒激光光丝掺杂与飞秒激光退火相结合方式，操作简单、掺杂效率高、选择性在晶圆表面进行激光处理，可避免热退火所导致的衬底电学参数变坏、注入杂质再分布以及注入图形发生畸变的问题，整体采用阵列式结构以便于液面不同高度的检测。
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公开(公告)号：CN107931866B
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201711104932.0
申请日：2017-11-10
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/402 , B23K26/064
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光在陶瓷球表面进行图案加工的装置及方法，属于不规则形貌陶瓷表面激光加工技术领域，包括编程软件、飞秒激光放大器、半波片、偏振片、会聚透镜、扫描振镜、不规则形貌的陶瓷球及配有三维精密位移平台的载物台；飞秒激光放大器的输出端依次放置半波片、偏振片、会聚透镜及扫描振镜，不规则形貌的陶瓷球放置在三维精密位移平台的载物台上，利用编程软件来控制扫描振镜的偏转，实现对飞秒激光光丝运动的轨迹和速度的控制，从而完成在陶瓷球表面的三维参数化图案飞秒激光加工，这将在精密加工功能陶瓷器件和雕刻艺术陶瓷制品领域内展现出极其重要的作用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109962013A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201711398784.8
申请日：2017-12-22
Applicant: 吉林大学 , 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L21/28 , H01L21/822
Abstract: 本发明公开了一种解码大脑活动的针状高密度电极阵列的制备方法，属于高密度电极阵列制备技术领域，首先通过Cadence软件设计需要的电极连线和电极记录位点，采用标准的0.18μm CMOS流片工艺，制备出有高密度电极阵列的硅基片，然后利用碳化硅粉末将基片进行减薄，然后用抛光液对基片进行抛光处理提高基片表面质量，最后通过程序控制扫描振镜的方式来控制飞秒激光的运动轨迹，在基片上图案化切割出具有生物安全性、稳定性并且边缘光滑的针状高密度电极阵列，便于在植入脑内过程中不损伤神经纤维，实现对神经元活动信号高精度的采集。
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公开(公告)号：CN109483058A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811507061.1
申请日：2018-12-10
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/352 , B23K26/60
Abstract: 本发明提出一种在不规则金属曲面上快速大面积远程制备超疏水抗反射结构的方法，属于多功能材料的制备技术领域，采用飞秒激光光丝加工以及化学氟化处理相结合的方法来实现在具有不规则的不锈钢和钛合金金属曲面样品表面上快速大面积远程制备多功能表面，通过程序化控制三维位移平台的运动轨迹来实现飞秒激光光丝对样品的连续扫描，进而对样品进行化学氟化处理，最终在具有不规则的不锈钢和钛合金金属曲面样品表面上实现具有抗反射性以及超疏水特性的多功能表面的制备，其反射率在紫外到近红外的光谱范围内不高于10％，并且其水接触角可高达150°以上。
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公开(公告)号：CN107931866A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711104932.0
申请日：2017-11-10
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/402 , B23K26/064
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光在陶瓷球表面进行图案加工的装置及方法，属于不规则形貌陶瓷表面激光加工技术领域，包括编程软件、飞秒激光放大器、半波片、偏振片、会聚透镜、扫描振镜、不规则形貌的陶瓷球及配有三维精密位移平台的载物台；飞秒激光放大器的输出端依次放置半波片、偏振片、会聚透镜及扫描振镜，不规则形貌的陶瓷球放置在三维精密位移平台的载物台上，利用编程软件来控制扫描振镜的偏转，实现对飞秒激光光丝运动的轨迹和速度的控制，从而完成在陶瓷球表面的三维参数化图案飞秒激光加工，这将在精密加工功能陶瓷器件和雕刻艺术陶瓷制品领域内展现出极其重要的作用。
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公开(公告)号：CN113092540A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110312310.7
申请日：2021-03-24
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种新型高灵敏微湿度传感器及其制备方法，属于湿度传感器技术领域，该器件由两层PEGDA/PI薄膜正对组装在一起构成；其中，所述PEGDA/PI薄膜是由PEGDA水凝胶粘附在PI衬底上，通过飞秒激光直写技术在PEGDA表面引入微纳结构制备得到，并在PEGDA上附加一层碳纳米薄膜，银浆滴涂在器件两侧用以连接电极。本发明采用水凝胶作为湿敏材料，制备出体积小、灵敏度高的传感器，微米级别大小的精密PEGDA/PI薄膜，利于传感器小型化和集成化。本发明提出的高灵敏微型湿度传感器结构精细，具有微结构的PEGDA水凝胶的吸失水的膨胀收缩能力与飞秒激光直写扫描间距呈现近似线性的关系，微纳结构的尺寸通过改变激光加工的参数来调控光交联程度，进而调控水凝胶的膨胀/收缩率。
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公开(公告)号：CN112091419A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010978499.9
申请日：2020-09-17
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/352 , B23K26/362 , B23K26/60 , G01L1/18 , G01L9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于百TW/cm2量级高强度激光高效制备柔性压力传感器模板的方法，属于柔性压力传感器模板技术领域，首先基于百TW/cm2高强度激光在硅片以及金属表面上制备微结构模板，通过扫描振镜系统调控高强度激光的运动轨迹及速度，可以实现模板的图案化制备，接下来对模板进行表面硅烷化处理，并通过生长一层Parylene的方式减少模板与PDMS间的粘附性，增加翻模成功率，并且在模板表面形成坚固光滑的保护膜以便于多次翻模。在本发明中主要采用高强度激光烧蚀的方式一方面可以实现模板高效快速制备，并且对材料没有选择性，另一方面通过引入尺寸较小的微纳米结构，有效的提高器件的稳定性以及灵敏度，这在传感器制备领域具有巨大的应用潜力以及诱人的发展前景。
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