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公开(公告)号：CN113092540A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110312310.7
申请日：2021-03-24
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种新型高灵敏微湿度传感器及其制备方法，属于湿度传感器技术领域，该器件由两层PEGDA/PI薄膜正对组装在一起构成；其中，所述PEGDA/PI薄膜是由PEGDA水凝胶粘附在PI衬底上，通过飞秒激光直写技术在PEGDA表面引入微纳结构制备得到，并在PEGDA上附加一层碳纳米薄膜，银浆滴涂在器件两侧用以连接电极。本发明采用水凝胶作为湿敏材料，制备出体积小、灵敏度高的传感器，微米级别大小的精密PEGDA/PI薄膜，利于传感器小型化和集成化。本发明提出的高灵敏微型湿度传感器结构精细，具有微结构的PEGDA水凝胶的吸失水的膨胀收缩能力与飞秒激光直写扫描间距呈现近似线性的关系，微纳结构的尺寸通过改变激光加工的参数来调控光交联程度，进而调控水凝胶的膨胀/收缩率。
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公开(公告)号：CN113092540B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202110312310.7
申请日：2021-03-24
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种新型高灵敏微湿度传感器及其制备方法，属于湿度传感器技术领域，该器件由两层PEGDA/PI薄膜正对组装在一起构成；其中，所述PEGDA/PI薄膜是由PEGDA水凝胶粘附在PI衬底上，通过飞秒激光直写技术在PEGDA表面引入微纳结构制备得到，并在PEGDA上附加一层碳纳米薄膜，银浆滴涂在器件两侧用以连接电极。本发明采用水凝胶作为湿敏材料，制备出体积小、灵敏度高的传感器，微米级别大小的精密PEGDA/PI薄膜，利于传感器小型化和集成化。本发明提出的高灵敏微型湿度传感器结构精细，具有微结构的PEGDA水凝胶的吸失水的膨胀收缩能力与飞秒激光直写扫描间距呈现近似线性的关系，微纳结构的尺寸通过改变激光加工的参数来调控光交联程度，进而调控水凝胶的膨胀/收缩率。
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