一种用于半导体器件1/f噪声上下限频率的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN107526016B

    公开(公告)日:2019-08-27

    申请号:CN201710531992.4

    申请日:2017-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种用于半导体器件1/f噪声上下限频率的检测方法及装置,装置包括:屏蔽箱,用于屏蔽外界噪声干扰;偏置电路,用于获得实验所需的时域波形;前置放大器,用于放大噪声信号;数字示波器,用于显示输入信号的时域波形;PC机,用于处理所输入的信号。本发明的装置具有较低的本底噪声、较高的屏蔽外界噪声干扰能力,装置中的线绕电位器自身几乎不存在1/f噪声,测得的数据更加精确。本发明的方法除了采用二进制小波变换外,还可以采用其他进制的小波变换,如采用连续小波变换,可以有效提高上下限频率检测的准确性;避免使用通过频谱分析仪,分析所得到的频谱特性曲线,拟合寻找上下限频率这一传统方法。

    一种用于半导体器件1/f噪声上下限频率的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN107526016A

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201710531992.4

    申请日:2017-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种用于半导体器件1/f噪声上下限频率的检测方法及装置,装置包括:屏蔽箱,用于屏蔽外界噪声干扰;偏置电路,用于获得实验所需的时域波形;前置放大器,用于放大噪声信号;数字示波器,用于显示输入信号的时域波形;PC机,用于处理所输入的信号。本发明的装置具有较低的本底噪声、较高的屏蔽外界噪声干扰能力,装置中的线绕电位器自身几乎不存在1/f噪声,测得的数据更加精确。本发明的方法除了采用二进制小波变换外,还可以采用其他进制的小波变换,如采用连续小波变换,可以有效提高上下限频率检测的准确性;避免使用通过频谱分析仪,分析所得到的频谱特性曲线,拟合寻找上下限频率这一传统方法。

    附加微量进气枪用于气体传感器在线测试的电子能谱仪

    公开(公告)号:CN101315348A

    公开(公告)日:2008-12-03

    申请号:CN200810050890.1

    申请日:2008-06-27

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明属于检测技术领域,具体涉及一种通过附加微量进气枪实现气体传感器及催化反应在线测试的电子能谱仪。其由真空反应室(20)、提供满足测试要求真空度的超高真空系统(21)、提供合适样品温度的变温样品台(22)、提供激发样品所需的合适粒子的激发源(23)、用于分辨不同能量光电子的能量分析器(24)、用于数据采集和分析的数据采集系统(25)和在真空反应室上附加的微量进气枪(26)组成。本发明提供了一种适合半导体气敏反应和催化反应的在线电子能谱分析方法,是半导体传感技术、催化技术与变温电子能谱技术的完美结合,既拓展了电子能谱的使用范围,又为研究半导体传感技术、催化技术的反应机理提供了新的研究方法。

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