公开(公告)号：CN106868470A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201710116077.9

申请日：2017-03-01

Applicant: 吉林大学

Inventor： 段羽 ,  熊鹏鹏 ,  陈平 ,  刘云飞 ,  刘辉 ,  王浩然 ,  赵毅

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  H01L31/0224 ,  H01L33/36 ,  G02F1/1343

CPC classification number: C23C16/042 ,  C23C16/18 ,  C23C16/45553 ,  G02F1/13439 ,  H01L31/022425 ,  H01L33/36

Abstract: 一种利用原子层沉积技术通过置换反应制备透明铜薄膜导电电极的方法，属于透明导电电极制备技术领域。首先是将透明基底进行清洁处理，再用氮气吹干；然后透明基底的同一侧表面粘贴两条相互分立的保护膜，两条保护膜对称地位于基底表面靠近边缘处的位置，得到图形化透明基底，然后将该图形化透明基底送入原子层沉积设备的反应室中进行透明铜薄膜的生长；最后将透明基底及其上沉积生长的透明铜薄膜高温退火，退火温度为200～300℃，退火时间为20～30min，从而在透明基底上得到图形化的均匀透明铜薄膜导电电极。本发明制备的透明铜薄膜导电电极均匀性好，光电性能优异，可用于制造太阳能电池、发光二极管、LCD以及手机等光电器件。

公开(公告)号：CN105932172A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201610312091.1

申请日：2016-05-11

Applicant: 吉林大学

Inventor： 段羽 ,  刘云飞 ,  陈平 ,  熊鹏鹏 ,  陈政 ,  陶冶 ,  赵毅

IPC: H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/5203 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明涉及导电薄膜技术领域，具体涉及一种可定量调节功函数的透明叠层电极，以及它的制备工艺。所述电极由第一半导体层、导电层和第二半导体层叠合组成；本发明提供的透明叠层电极，材料易得，生产成本低；制备方法简单，可实现工业化生产；产品性能好。