公开(公告)号：CN1192691C

公开(公告)日：2005-03-09

申请号：CN02132456.5

申请日：2002-06-16

Applicant: 吉林大学

Inventor： 韩永昊 ,  高春晓 ,  刘洪武 ,  潘跃武 ,  王成新 ,  骆继峰 ,  申彩霞 ,  邹广田

IPC: H05K3/06 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G01N27/00

Abstract: 本发明属在高压实验装置——金刚石对顶砧上集成金属电极的方法。经清洗(1)、溅射电极材料(2)、涂胶(3)、光刻(4)、腐蚀金属(5)、去胶(6)以及引线工艺过程制得钨或铬或钛的金属电极。电极材料(2)厚度为1000～2500，溅射电极材料过程中衬底温度保持在240～400℃。光刻(4)过程是保留需要集成电极部位的光刻胶(9)，而其余的地方光刻胶(9)被去掉。腐蚀金属(5)是指用光刻腐蚀剂去掉未被光刻胶(9)掩盖的电极材料。本发明能保证电极在砧面上有足够的附着力。电极厚度小，可消除由应力产生的电极崩裂现象。可避免高温对金刚石的损伤，延长使用寿命。

公开(公告)号：CN1396801A

公开(公告)日：2003-02-12

申请号：CN02132456.5

申请日：2002-06-16

Applicant: 吉林大学

Inventor： 韩永昊 ,  高春晓 ,  刘洪武 ,  潘跃武 ,  王成新 ,  骆继峰 ,  申彩霞 ,  邹广田

IPC: H05K3/06 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G01N27/00

Abstract: 本发明属在高压实验装置——金刚石对顶砧上集成金属电极的方法。经清洗(1)、溅射电极材料(2)、涂胶(3)、光刻(4)、腐蚀金属(5)、去胶(6)以及引线工艺过程制得钨或铬或钛的金属电极。电极材料(2)厚度为1000～2500A，溅射电极材料过程中衬底温度保持在240～400℃。光刻(4)过程是保留需要集成电极部位的光刻胶(9)，而其余的地方光刻胶(9)被去掉。腐蚀金属(5)是指用光刻腐蚀剂去掉未被光刻胶(9)掩盖的电极材料。本发明能保证电极在砧面上有足够的附着力。电极厚度小，可消除由应力产生的电极崩裂现象。可避免高温对金刚石的损伤，延长使用寿命。