公开(公告)号：CN113964630B

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202111213492.9

申请日：2021-10-19

Applicant: 吉林大学

Inventor： 胡贵军 ,  李佳盈 ,  张美玲 ,  于成

IPC: H01S3/067 ,  H01S3/10

Abstract: 本发明公开了一种基于PbS量子点的聚合物光波导放大器及其制备方法，属于聚合物光波导器件制备技术领域，本发明的制备方法以PbS作为增益介质，以SU‑8为光波导芯层本底，采用离散的PbS量子点作为掺杂介质。由于PbS量子点易溶于有机溶剂(如甲苯、正己烷)，并且在有机溶剂中的稳定性会更高，所以将PbS量子点溶于甲苯中，提高其稳定性。同时，PbS量子点对温度很敏感，在高温环境下易失效，所以在工艺流程上有所改变。该方法利用紫外热光漂白工艺，其芯层材料不经过显影，只是在掺杂SU‑8内波导区域与非波导区域形成折射率差实现导光通道，这样可以使PbS量子点的温度控制在可调范围内，光漂白工艺还可以实现高浓度掺杂。

公开(公告)号：CN113964630A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111213492.9

申请日：2021-10-19

Applicant: 吉林大学

Inventor： 胡贵军 ,  李佳盈 ,  张美玲 ,  于成

IPC: H01S3/067 ,  H01S3/10

Abstract: 本发明公开了一种基于PbS量子点的聚合物光波导放大器及其制备方法，属于聚合物光波导器件制备技术领域，本发明的制备方法以PbS作为增益介质，以SU‑8为光波导芯层本底，采用离散的PbS量子点作为掺杂介质。由于PbS量子点易溶于有机溶剂(如甲苯、正己烷)，并且在有机溶剂中的稳定性会更高，所以将PbS量子点溶于甲苯中，提高其稳定性。同时，PbS量子点对温度很敏感，在高温环境下易失效，所以在工艺流程上有所改变。该方法利用紫外热光漂白工艺，其芯层材料不经过显影，只是在掺杂SU‑8内波导区域与非波导区域形成折射率差实现导光通道，这样可以使PbS量子点的温度控制在可调范围内，光漂白工艺还可以实现高浓度掺杂。