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公开(公告)号：CN209624468U
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201920090949.3
申请日：2019-01-21
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/416
Abstract: 本实用新型涉及一种梳状三电极气体传感器微热板，是由中间的Si片层和前后侧分别生长的SiO2层组成，在前SiO2层的上表面通过磁控溅射、光刻、剥离及腐蚀技术制作成梳状电极，微热板加热电极设计成梳状结构，使得传感器工作区域因加热电流而产生的磁场基本能够相互抵消，加热电极是由梳状回路电阻和其两端的管脚Ⅰ和管脚Ⅱ构成，信号电极由加热电极与Pt直线电组及其管脚Ⅲ构成。气体传感器微热板加热电极设计成梳状结构，使微热板工作区域因加热电流而产生的环绕磁场能够相互消除，极大地减弱了磁场强度，明显的减小了磁场对测量信号的干扰，提高了传感器的性能。微热板结构简单、制作成本低廉。
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