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公开(公告)号:CN107052992B
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN201611008266.6
申请日:2016-11-16
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床,属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接,抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接,Z向进给机构与机床支架固定连接,Z向进给机构与A轴摆动机构相连,A轴摆动机构与抛光头工具系统相连,机X向进给机构与床底座固定连接,X向进给机构上方与Y向进给机构相连,Y向进给机构上方与C轴转台相连。本发明对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力,推进光学曲面精密制造理论创新,加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展,具有重要学术价值和较大的社会经济效益。
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公开(公告)号:CN107576610B
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN201711051852.3
申请日:2017-10-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于表面摩擦的多物理量检测装置及检测方法,属于多物理量检测装置和检测方法。包括高频梁、同步耦合梁、低频梁、摩擦块、支撑定位结构、压电激振结构、横向压电大位移驱动结构、纵向压电大位移驱动结构、L型支撑结构等。低频梁的拾振结构拾取摩擦振动信号以检测表面粗糙度和硬度。低频梁与高频梁、同步耦合梁共同组成同步共振结构,用于检测动摩擦系数,并倍增输出频率以提高灵敏度。本发明利用较简单的结构,实现动摩擦系数、表面粗糙度和硬度的检测,在表面检测和材料识别领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN107576610A
公开(公告)日:2018-01-12
申请号:CN201711051852.3
申请日:2017-10-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于表面摩擦的多物理量检测装置及检测方法,属于多物理量检测装置和检测方法。包括高频梁、同步耦合梁、低频梁、摩擦块、支撑定位结构、压电激振结构、横向压电大位移驱动结构、纵向压电大位移驱动结构、L型支撑结构等。低频梁的拾振结构拾取摩擦振动信号以检测表面粗糙度和硬度。低频梁与高频梁、同步耦合梁共同组成同步共振结构,用于检测动摩擦系数,并倍增输出频率以提高灵敏度。本发明利用较简单的结构,实现动摩擦系数、表面粗糙度和硬度的检测,在表面检测和材料识别领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN107052992A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201611008266.6
申请日:2016-11-16
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床,属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接,抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接,Z向进给机构与机床支架固定连接,Z向进给机构与A轴摆动机构相连,A轴摆动机构与抛光头工具系统相连,机X向进给机构与床底座固定连接,X向进给机构上方与Y向进给机构相连,Y向进给机构上方与C轴转台相连。本发明对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力,推进光学曲面精密制造理论创新,加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展,具有重要学术价值和较大的社会经济效益。
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公开(公告)号:CN207280925U
公开(公告)日:2018-04-27
申请号:CN201721416380.2
申请日:2017-10-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种基于表面摩擦的多物理量检测装置,属于多物理量检测装置。包括高频梁、同步耦合梁、低频梁、摩擦块、支撑定位结构、压电激振结构、横向压电大位移驱动结构、纵向压电大位移驱动结构、L型支撑结构等。低频梁的拾振结构拾取摩擦振动信号以检测表面粗糙度和硬度。低频梁与高频梁、同步耦合梁共同组成同步共振结构,用于检测动摩擦系数,并倍增输出频率以提高灵敏度。本实用新型利用较简单的结构,实现动摩擦系数、表面粗糙度和硬度的检测,在表面检测和材料识别领域具有广阔的应用前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN206344011U
公开(公告)日:2017-07-21
申请号:CN201621230449.8
申请日:2016-11-16
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床,属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接,抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接,Z向进给机构与机床支架固定连接,Z向进给机构与A轴摆动机构相连,A轴摆动机构与抛光头工具系统相连,机X向进给机构与床底座固定连接,X向进给机构上方与Y向进给机构相连,Y向进给机构上方与C轴转台相连。本实用新型对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力,推进光学曲面精密制造理论创新,加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展,具有重要学术价值和较大的社会经济效益。
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