一种出风电加热热平衡计算方法及系统

    公开(公告)号:CN119202456A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411225530.6

    申请日:2024-09-03

    Abstract: 本发明属于芯片加工用温度控制技术领域,具体涉及一种出风电加热热平衡计算方法及系统。本发明所提供的出风电加热热平衡计算方法,可分别针对空调箱处于供热状态和供冷状态,实现相应的电加热装置以及表冷器变频器的输出百分比的联立计算功能,计算实时性高,且计算结果高效而准确;通过电加热装置和表冷器变频器的协同控制,本发明能够为芯片的高精密控温控制策略的研究提供基础保障;随后,本发明还提供了相应的系统及调节方法,从而具体化的实现高精密控温控制目的。

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