公开(公告)号：CN101494200B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN200910002600.0

申请日：2009-01-23

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司 ,  跨大学校际微电子卓越研究中心

Inventor： 赵学柱 ,  安娜贝拉·费洛索 ,  于洪宇 ,  史蒂芬·库比塞克 ,  张守仁

IPC: H01L21/8238 ,  H01L27/092

CPC classification number: H01L21/823857 ,  H01L21/823462 ,  H01L27/088 ,  H01L27/092 ,  H01L29/513

Abstract: 一种双功函数半导体装置及其制造方法。该装置包含：一第一晶体管于一基底的一第一区上，其具有一第一栅极堆叠结构，第一栅极堆叠结构具有一第一有效功函数；以及一第二晶体管于基底的一第二区上，其具有一第二栅极堆叠结构，第二栅极堆叠结构具有一第二有效功函数；其中第一栅极堆叠结构与第二栅极堆叠结构各具有一主介电质、一栅极、与一第二介电顶盖层，且第二栅极堆叠结构还额外具有一第一介电顶盖层；第一介电顶盖层是决定第二栅极堆叠结构的第二有效功函数；第二介电顶盖层不会对第二栅极堆叠结构的第二有效功函数造成实质影响；以及金属层是与第二介电顶盖层一起决定第一栅极堆叠结构的第一有效功函数。本发明具有优异的半导体性能。

公开(公告)号：CN101494200A

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200910002600.0

申请日：2009-01-23

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司 ,  跨大学校际微电子卓越研究中心

Inventor： 赵学柱 ,  安娜贝拉·费洛索 ,  于洪宇 ,  史蒂芬·库比塞克 ,  张守仁

IPC: H01L21/8238 ,  H01L27/092

CPC classification number: H01L21/823857 ,  H01L21/823462 ,  H01L27/088 ,  H01L27/092 ,  H01L29/513

Abstract: 一种双功函数半导体装置及其制造方法。该装置包含：一第一晶体管于一基底的一第一区上，其具有一第一栅极堆叠结构，第一栅极堆叠结构具有一第一有效功函数；以及一第二晶体管于基底的一第二区上，其具有一第二栅极堆叠结构，第二栅极堆叠结构具有一第二有效功函数；其中第一栅极堆叠结构与第二栅极堆叠结构各具有一主介电质、一栅极、与一第二介电顶盖层，且第二栅极堆叠结构还额外具有一第一介电顶盖层；第一介电顶盖层是决定第二介电顶盖层的第二有效功函数；第二介电顶盖层不会对第二栅极堆叠结构的第二有效功函数造成实质影响；以及金属层是与第二介电顶盖层一起决定第一栅极堆叠结构的第一有效功函数。本发明具有优异的半导体性能。