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1.

发明公开
储存装置无效

公开(公告)号：CN110834820A

公开(公告)日：2020-02-25

申请号：CN201910202168.3

申请日：2019-03-18

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 杨胜钧 , 林艺民 , 万昭宏 , 许修豪 , 陈冠中 , 梁伯维

IPC: B65D81/22 , B65D81/26

Abstract: 一种湿度控制储存装置包含多个平板，这些平板配置以形成一密闭容积(Enclosed Volume)。这些平板中的第一平板包含进气口与出气口。储存装置还包含净化系统，此净化(Purge)系统具有进气管路、气体供应系统、以及气体抽出系统。进气管路包含喷嘴与耦合于进气口的圆筒部。气体供应系统配置以供应净化气体给进气管路。进气管路配置沿一方向将净化气体输出至密闭容积中，而在密闭容积内形成圆形或椭圆形的气流图案。气体抽出系统耦合于出气口，且配置以将净化气体从密闭容积中抽出。

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