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公开(公告)号:CN115508946A
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202210030543.2
申请日:2022-01-12
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 一种半导体组件及其形成方法以及光耦合系统。公开具有高耦合效率和低偏振相关损耗的边缘耦合器,以及制造边缘耦合器的方法。在一个实施例中,公开用于光耦合的半导体组件。半导体组件包括:衬底;光波导,在衬底之上;及多个层,在光波导之上。多个层包括设置在半导体组件的边缘的多个耦合柱。多个耦合柱形成边缘耦合器,其被配置为将光波导光学耦合到位于半导体组件的边缘的光纤。
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公开(公告)号:CN117192687A
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN202310889203.X
申请日:2023-07-19
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本申请的实施例公开了一种光学器件及其制造方法,包括提供两个不同的光路:第一光路,包括第一波导芯和与第一波导芯相邻的第一包层;以及第二光路,包括第二波导芯和与第二波导芯相邻的第二包层。第一波导芯的热光系数(TOC)和第一包层的TOC具有相同的符号,例如正,并且第二波导芯的TOC的符号不同于第二包层的TOC的符号,例如一个正且一个负。这些光路可以位于马赫‑曾德尔干涉仪(MZI)中。
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