公开(公告)号：CN102020233B

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201010282276.5

申请日：2010-09-09

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 彭永州 ,  黄文宏 ,  林有为

IPC: G01P15/125 ,  H01L27/06 ,  B81B7/02

CPC classification number: H03M1/002 ,  B81B7/008 ,  H03M1/0626 ,  H03M1/12 ,  H03M3/30

Abstract: 一种微机电系统及其操作方法，该微机电系统包括：一微机械结构，用于产生一第一电信号；以及一模拟数字转换器(ADC)，耦接该微机械结构，其中该微机电系统不包括任何放大器位于该微机械结构与该模拟数字转换器之间。本发明的微机电系统以及其操作方法具有合意的功率消耗及/或具有合意的面积。

公开(公告)号：CN102020233A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010282276.5

申请日：2010-09-09

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 彭永州 ,  黄文宏 ,  林有为

IPC: B81B7/02

CPC classification number: H03M1/002 ,  B81B7/008 ,  H03M1/0626 ,  H03M1/12 ,  H03M3/30

Abstract: 一种微机电系统及其操作方法，该微机电系统包括：一微机械结构，用于产生一第一电信号；以及一模拟数字转换器(ADC)，耦接该微机械结构，其中该微机电系统不包括任何放大器位于该微机械结构与该模拟数字转换器之间。本发明的微机电系统以及其操作方法具有合意的功率消耗及/或具有合意的面积。