公开(公告)号：CN118584586A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410580214.4

申请日：2024-05-11

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 李明 ,  沈天琳 ,  林炜恒 ,  夏兴国 ,  余振华

IPC: G02B6/125 ,  G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  G02B6/42

Abstract: 提出了光学器件和制造这样的光学器件的方法。在实施例中，光学器件是可调整分束器，其通过：在衬底上方形成第一掺杂剂区域，第一掺杂剂区域包括第一波导和第二波导；在第一波导和第二波导上方沉积包覆材料；以及在第一波导和第二波导上面形成第二掺杂剂区域制成，其中，形成第二掺杂剂区域包括形成在第一波导和第二波导上方延伸的第一区域，第一区域具有恒定浓度的第一掺杂剂。本申请的实施例还涉及光学器件及其制造方法。

公开(公告)号：CN118584583A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410570169.4

申请日：2024-05-09

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 李明 ,  沈天琳 ,  林炜恒 ,  夏兴国 ,  余振华

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/13 ,  G02B6/132 ,  G02B6/136

Abstract: 本申请的实施例提出了光学器件及其制造方法。在实施例中，方法包括形成光学材料的第一层，将第一层图案化为阶梯图案，在阶梯状图案上沉积介电材料，以及在介电材料上方且至少部分地在阶梯图案内形成光学材料的第二层。