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公开(公告)号:CN104080943B
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN201380004880.3
申请日:2013-03-07
Applicant: 古河电气工业株式会社
IPC: C23C14/34 , C22F1/08 , H01L21/285 , C22F1/00
CPC classification number: C22F1/08 , C22C9/00 , C22F1/00 , C23C14/3414
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在靶溅镀时防止发生颗粒、飞溅和粉尘等粗大丛集,且提高由溅镀形成的薄膜膜厚的均匀性的溅镀靶。该溅镀靶以纯度为99.9质量%以上的铜为主成分,其特征在于,含有10ppm以下的硫(S)、及2ppm以下的铅(Pb),且优选所述铜的纯度为99.96质量%以上。
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公开(公告)号:CN101147020B
公开(公告)日:2010-12-15
申请号:CN200680009235.0
申请日:2006-03-29
Applicant: 古河电气工业株式会社
CPC classification number: B29C44/468 , B29C47/0023 , B29C47/0028 , B29C47/003 , B29C47/005 , B29C47/065 , B29C47/902 , B29C47/908 , F16L59/143 , Y10T428/13 , Y10T428/1376 , Y10T428/139 , Y10T428/1393
Abstract: 一种复合管,在管的外表面覆盖有发泡体,其特征在于,所述发泡体由棒状发泡体形成层,并且,所述发泡体的与长度方向垂直的剖面的棒状发泡体的40%以上的形状为大致扇形,所述大致扇形由大小两个同心圆上的长短的圆弧部、和从所述同心圆中心向外周方向放射状延伸的两条直线部形成,并且满足下述式(1)的条件,0.5<a/b<2.5 式(1)(式中,a表示大致扇形的长圆弧部的长度和短圆弧部的长度之和的1/2的长度,b表示大致扇形的直线部的长度)。
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公开(公告)号:CN101147020A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200680009235.0
申请日:2006-03-29
Applicant: 古河电气工业株式会社
CPC classification number: B29C44/468 , B29C47/0023 , B29C47/0028 , B29C47/003 , B29C47/005 , B29C47/065 , B29C47/902 , B29C47/908 , F16L59/143 , Y10T428/13 , Y10T428/1376 , Y10T428/139 , Y10T428/1393
Abstract: 一种复合管,在管的外表面覆盖有发泡体,其特征在于,所述发泡体由棒状发泡体形成层,并且,所述发泡体的与长度方向垂直的剖面的棒状发泡体的40%以上的形状为大致扇形,所述大致扇形由大小两个同心圆上的长短的圆弧部、和从所述同心圆中心向外周方向放射状延伸的两条直线部形成,并且满足下述式(1)的条件,0.5<a/b<2.5式(1)(式中,a表示大致扇形的长圆弧部的长度和短圆弧部的长度之和的1/2的长度,b表示大致扇形的直线部的长度)。
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公开(公告)号:CN104080943A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201380004880.3
申请日:2013-03-07
Applicant: 古河电气工业株式会社
IPC: C23C14/34 , C22F1/08 , H01L21/285 , C22F1/00
CPC classification number: C22F1/08 , C22C9/00 , C22F1/00 , C23C14/3414
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在靶溅镀时防止发生颗粒、飞溅和粉尘等粗大丛集,且提高由溅镀形成的薄膜膜厚的均匀性的溅镀靶。该溅镀靶以纯度为99.9质量%以上的铜为主成分,其特征在于,含有10ppm以下的硫(S)、及2ppm以下的铅(Pb),且优选所述铜的纯度为99.96质量%以上。
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公开(公告)号:CN101793334A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN201010155344.1
申请日:2006-03-29
Applicant: 古河电气工业株式会社
IPC: F16L9/14 , F16L59/147
CPC classification number: B29C44/468 , B29C47/0023 , B29C47/0028 , B29C47/003 , B29C47/005 , B29C47/065 , B29C47/902 , B29C47/908 , F16L59/143 , Y10T428/13 , Y10T428/1376 , Y10T428/139 , Y10T428/1393
Abstract: 一种复合管,在管的外表面覆盖有发泡体,其特征在于,所述发泡体由棒状发泡体形成层,并且,所述发泡体的与长度方向垂直的剖面的棒状发泡体的40%以上的形状为大致扇形,所述大致扇形由大小两个同心圆上的长短的圆弧部、和从所述同心圆中心向外周方向放射状延伸的两条直线部形成,并且满足下述式(1)的条件,0.5<a/b<2.5式(1)(式中,a表示大致扇形的长圆弧部的长度和短圆弧部的长度之和的1/2的长度,b表示大致扇形的直线部的长度)。
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