一种线栅偏振器及其制造方法

    公开(公告)号:CN104865630A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510333684.1

    申请日:2015-06-16

    CPC classification number: G02B5/3058

    Abstract: 本发明提供了一种线栅偏振器及其制造方法。该线栅偏振器包括吸收层和金属线栅。吸收层包括基板、间隔分布于基板上表面的多个第一凸起部、设置于第一凸起部表面的铝线以及二氧化硅层。金属线栅包括涂布于二氧化硅层表面的平坦层、设置于平坦层上方的铝层以及间隔分布于铝层上表面的第二凸起部,藉由第二凸起部蚀刻该铝层以形成光栅结构。相比于现有技术,本发明采用叠层的双光栅结构可改善现有线栅偏振器的视角缺陷,并且还可消除暗态漏光的不良情形。

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