公开(公告)号：CN117710289A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202311586028.3

申请日：2023-11-24

Applicant: 厦门福信光电集成有限公司

Inventor： 郑重港 ,  何荣茂 ,  翁锦祥 ,  丁凯明 ,  朱天赐

IPC: G06T7/00 ,  H01L21/66 ,  G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01 ,  G06T7/13 ,  G06T7/73 ,  G06V10/44 ,  G06V10/764 ,  G06V10/82 ,  G06F9/50

Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆裂片后划裂缺陷的检测方法及系统，包括以下步骤：在检测机台上对待检晶圆进行成像，获取晶圆图像；将所述晶圆图像进行矫正处理，生成矫正图像；将所述矫正图像按设定的大小进行切块，生成切块图像；将所述切块图像进行缺陷提取及判定，包括：使用Blob分析方法进行晶粒定位、崩边崩角缺陷检测、双晶错划缺陷检测；输出判定的各类缺陷结果至报警系统，所述缺陷结果包括缺陷类型、缺陷位置及各类型缺陷的数量。本发明提出的缺陷检测方法不局限于蓝宝石衬底的晶圆外观缺陷检测，且可检测包括崩边崩角缺陷及双晶、错划缺陷，在保证检测效率及准确度的前提下提供更强的适应性及更全面的缺陷种类检测。

公开(公告)号：CN116977314A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202310973343.5

申请日：2023-08-03

Applicant: 厦门福信光电集成有限公司

Inventor： 何荣茂 ,  翁锦祥 ,  丁凯明 ,  郑重港 ,  朱天赐 ,  余裕捷

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/90 ,  G06T7/13 ,  G06T5/30

Abstract: 本发明公开了一种高精度的液晶面板装箱搭边检测方法，包括以下步骤：在液晶面板装箱的上方四个角位置放置四个线激光光源；线激光光源在产品表面形成规则的“#”字形；设置在装箱上方的面阵相机获得实时检测图像；通过转换颜色空间，对获取的实时检测图像进行二值化处理，得到二值图像；对二值图像进行膨胀操作；对获取的二值图像进行计算，得到边界集合Vi，i＝0,1,2,3；分别对得到的边界集合Vi进行直线拟合，判断是否搭边；向报警系统发送检测的搭边结果，若显示搭边，由报警系统预警。通过本发明能够检测出面板的微小搭边，精度达到1mm以内，且不受箱子形状约束，适用范围广，检测精度高，算法实现简单。