公开(公告)号：CN119545983A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202410781867.9

申请日：2024-06-18

Applicant: 厦门大学

Inventor： 张保平 ,  马铭爽 ,  梅洋 ,  应磊莹 ,  石磊 ,  杨涛

IPC: H10H20/01 ,  H10H20/832 ,  H10H20/858 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明公开了一种氮化镓基谐振腔发光二极管的制备方法及其制品。其中，所述方法依序包括如下步骤：在原始衬底上外延生长氮化镓基外延层，在氮化镓基外延层一表面制备若干曲面结构；在该曲面结构沿一第一方向依序沉积电流扩展层、曲面反射镜、过渡层，并在每个曲面结构的过渡层表面制备与过渡层尺寸对应的区域金属基底；将区域金属基底一侧置于一临时衬底，去除原始衬底并抛光减薄和平坦化氮化镓基外延层另一表面；在氮化镓基外延层另一表面沉积平面反射镜，并制备电极；去除临时衬底获得单个独立氮化镓基谐振腔发光二极管。本发明能够改善获得独立器件时的金属卷边和侧壁损伤、优化实验工艺，提升器件的光输出功率等性能。