公开(公告)号：CN111370437A

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN202010321109.0

申请日：2020-04-22

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑志威 ,  尚宗伟 ,  马俊 ,  刘伟东

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明公开了一种基于金属氧化物薄膜晶体管的集成探测基板，包括：衬底、光电探测阵列和设置于同一衬底上的显示驱动阵列和TFT信号读写及处理电路阵列；所述显示驱动阵列和TFT信号读写及处理电路阵列的结构单元由N沟道和/或P沟道的第一TFT结构单元组成；所述光电探测阵列，包括成阵列分布的光电探测单元，所述光电探测单元由P沟道的第二TFT结构单元组成，形成于TFT信号读写及处理电路阵列上，并通过互连金属和信号读取单元连接，第二结构单元没有第一结构单元中的钝化层。本发明将蓝光探测、显示驱动、TFT读写电路和TFT信号处理电路等多种应用高度集成，基于同种材料、同种器件结构，将极大简化工艺步骤，降低制造成本。

公开(公告)号：CN111370437B

公开(公告)日：2023-03-14

申请号：CN202010321109.0

申请日：2020-04-22

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑志威 ,  尚宗伟 ,  马俊 ,  刘伟东

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明公开了一种基于金属氧化物薄膜晶体管的集成探测基板，包括：衬底、光电探测阵列和设置于同一衬底上的显示驱动阵列和TFT信号读写及处理电路阵列；所述显示驱动阵列和TFT信号读写及处理电路阵列的结构单元由N沟道和/或P沟道的第一TFT结构单元组成；所述光电探测阵列，包括成阵列分布的光电探测单元，所述光电探测单元由P沟道的第二TFT结构单元组成，形成于TFT信号读写及处理电路阵列上，并通过互连金属和信号读取单元连接，第二结构单元没有第一结构单元中的钝化层。本发明将蓝光探测、显示驱动、TFT读写电路和TFT信号处理电路等多种应用高度集成，基于同种材料、同种器件结构，将极大简化工艺步骤，降低制造成本。