微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用

    公开(公告)号:CN114486005A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210064859.3

    申请日:2022-01-20

    Inventor: 颜黄苹 王子俊

    Abstract: 本发明涉及传感器技术领域,公开了微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用,微结构电容式柔性压力传感器包括上电极层、微结构介电层和下电极层,微结构介电层的上表面具有偶数的N阶矩阵分布的微结构,灵敏度预测方法通过在微结构介电层划分矩阵分布的大方块和小方块,并通过计算每个小方块的全局分布因素和局部分布因素对每个小方块所受的压强进行等效量化,之后通过每个小方块受到的压强计算整个微结构介电层的形变量,进而通过传感器的电容变化预测传感器的灵敏度,预测方法计算过程简单,准确率高,故有利于提高计算效率,且制备的经过优化后的传感器具有较高的灵敏度。

    微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用

    公开(公告)号:CN114486005B

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202210064859.3

    申请日:2022-01-20

    Inventor: 颜黄苹 王子俊

    Abstract: 本发明涉及传感器技术领域,公开了微结构电容式柔性压力传感器的灵敏度预测方法及应用,微结构电容式柔性压力传感器包括上电极层、微结构介电层和下电极层,微结构介电层的上表面具有偶数的N阶矩阵分布的微结构,灵敏度预测方法通过在微结构介电层划分矩阵分布的大方块和小方块,并通过计算每个小方块的全局分布因素和局部分布因素对每个小方块所受的压强进行等效量化,之后通过每个小方块受到的压强计算整个微结构介电层的形变量,进而通过传感器的电容变化预测传感器的灵敏度,预测方法计算过程简单,准确率高,故有利于提高计算效率,且制备的经过优化后的传感器具有较高的灵敏度。

    一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN112729625A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011563295.5

    申请日:2020-12-25

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法,属于柔性压力传感器领域。仿生电容式柔性压力传感器从上至下依次包括上电极柔性基底、上电极导电层、柔性电介质层和下电极薄膜,所述上电极导电层为海绵状疏松多孔结构导电材料,所述柔性电介质层的A面为集成仿生蝴蝶鳞片层叠结构和仿生蛾眼结构阵列;所述柔性电介质层的B面为微孔结构阵列,所述柔性电介质层在传感器组装中A面在上,B面在下。通过激光对两种仿生结构进行织构,有效提升压力传感器的灵敏度和线性范围,制备方法简单、模板可控、加工速度快、重复性好、模板可重复使用、传感器灵敏度高、线性范围宽、检测限低。

    一种氧化铜纳米线的超疏水复合结构制备方法

    公开(公告)号:CN108504984A

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201810391335.9

    申请日:2018-04-27

    Applicant: 厦门大学

    CPC classification number: C23C8/12 B82Y30/00 B82Y40/00 C23C8/02

    Abstract: 一种氧化铜纳米线的超疏水复合结构制备方法,涉及纳米材料。对铜片表面进行清洁处理;利用激光对铜片进行表面织构,在铜片表面形成微结构;对表面织构后的铜片进行清洁处理;将清洁处理后的铜片加热,再将铜片冷却至室温,在铜片表面得到微纳复合结构氧化铜纳米线;采用低表面能材料对微纳复合结构氧化铜纳米线进行修饰,晾干后即得到氧化铜纳米线微纳复合结构的超疏水表面。得到的氧化铜纳米线微纳复合结构表面具有超疏水性,且氧化铜纳米线耐久性较强,不易破裂或剥落,可广泛应用于生物传感器件、新型光电探测等领域。

    用于百兆级850nm光通讯的光接收组件和制备方法

    公开(公告)号:CN101718897B

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN200910112910.8

    申请日:2009-12-03

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 用于百兆级850nm光通讯的光接收组件和制备方法,提供一种与商业CMOS工艺兼容,可替代现有850nm光收发器中混合集成,可满足传输要求的用于百兆级850nm光通讯的光接收组件和制备方法。光接收组件设850nm光电单片集成接收芯片、管座、管帽、管脚和适配器。芯片设前置放大电路和光电探测器,前者设2个互阻式放大电路、3级差分放大器、输出缓冲电路和直流负反馈电路。光电探测器的纵向自下而上是低掺杂的P型硅衬底;P阱;N型重掺杂硅层、场氧层和铝层;三层SiO2绝缘介质层;Si3N4表面钝化层。采用CMOS工艺将芯片贴片于管座上;将芯片的焊盘与管脚用金丝线键合连接;盖上管帽,与适配器按同轴封装。

    用于百兆级850nm光通讯的光接收组件和制备方法

    公开(公告)号:CN101718897A

    公开(公告)日:2010-06-02

    申请号:CN200910112910.8

    申请日:2009-12-03

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 用于百兆级850nm光通讯的光接收组件和制备方法,提供一种与商业CMOS工艺兼容,可替代现有850nm光收发器中混合集成,可满足传输要求的用于百兆级850nm光通讯的光接收组件和制备方法。光接收组件设850nm光电单片集成接收芯片、管座、管帽、管脚和适配器。芯片设前置放大电路和光电探测器,前者设2个互阻式放大电路、3级差分放大器、输出缓冲电路和直流负反馈电路。光电探测器的纵向自下而上是低掺杂的P型硅衬底;P阱;N型重掺杂硅层、场氧层和铝层;三层SiO2绝缘介质层;Si3N4表面钝化层。采用CMOS工艺将芯片贴片于管座上;将芯片的焊盘与管脚用金丝线键合连接;盖上管帽,与适配器按同轴封装。

    一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN112729625B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202011563295.5

    申请日:2020-12-25

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法,属于柔性压力传感器领域。仿生电容式柔性压力传感器从上至下依次包括上电极柔性基底、上电极导电层、柔性电介质层和下电极薄膜,所述上电极导电层为海绵状疏松多孔结构导电材料,所述柔性电介质层的A面为集成仿生蝴蝶鳞片层叠结构和仿生蛾眼结构阵列;所述柔性电介质层的B面为微孔结构阵列,所述柔性电介质层在传感器组装中A面在上,B面在下。通过激光对两种仿生结构进行织构,有效提升压力传感器的灵敏度和线性范围,制备方法简单、模板可控、加工速度快、重复性好、模板可重复使用、传感器灵敏度高、线性范围宽、检测限低。

    一种多生物仿生的雾水收集结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN112302100B

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN202011284872.7

    申请日:2020-11-17

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种多生物仿生的雾水收集结构,所述雾水收集结构上表面分布有多个雾水收集单元,所述雾水收集单元上表面边缘为仿仙人掌刺的尖端结构且中间为仿铁兰叶气孔周围毛状体特殊凹陷结构,使雾水收集单元上表面呈超亲水微结构凸点与疏水区域相间的润湿梯度结构;所述相邻的雾水收集单元之间形成边缘为仿仙人掌刺的尖端结构的储水单元;多个雾水收集单元的分布,使整个雾水收集结构上表面呈仿沙漠甲虫背部各向异性润湿性结构。本发明采用具有一定拉伸性能的疏水材料即可制备,原料选择广,且采用圆台针阵列及飞秒激光双脉冲系统即可制备,工艺简单,可大规模制备。

    一种头戴式裂隙灯显微检查系统

    公开(公告)号:CN107007251A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710351204.3

    申请日:2017-05-18

    Applicant: 厦门大学

    CPC classification number: A61B3/135 A61B3/0008 A61B3/0083 A61B3/14

    Abstract: 一种头戴式裂隙灯显微检查系统,涉及裂隙灯显微镜域。设有检查操作端和头戴单元;头戴单元内部设有投影模块、影像采集模块和中心控制模块,投影模块内部设投影驱动部分和照明部分;检查操作端将操作人员设置的裂隙灯显微检查光带信息形成图案化控制指令,将图案化控制指令发送给头戴单元;中心控制模块分析处理图案化指令,将光源控制指令发送给投影模块、影像采集指令发送给影像采集模块;投影模块根据光源控制指令产生检测光斑并将其投射到病患眼部;影像采集模块根据影像采集指令采集检查部位的光学切片影像,并将光学切片图像数据发送至中心控制模块;中心控制模块根据接收的光学切片图像数据形成检查数据包,将检查数据包发送至检查操作端。

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