公开(公告)号：CN112928004A

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN202110200668.0

申请日：2021-02-23

Applicant: 厦门大学

Inventor： 程翔 ,  邓晨洋 ,  徐顺 ,  严旭杰

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本公开提供了一种电热微镜驱动器失配矫正系统，包括：光源，光源用于向设置在光源正上方的电热微镜发出光线，电热微镜对来自光源的光线进行反射，形成反射光线；多个光电探测器均匀地设置在光源的周围，多个光电探测器分别对电热微镜形成的反射光线进行探测，生成多个电流信号；矫正电路同时接收多个电流信号，将多个电流信号转换为多个电压信号，获取多个电压信号中的最大值与最小值的差值，至少基于差值生成矫正电信号，矫正电信号能够被发送至电热微镜的至少一个驱动器，以对至少一个驱动器的驱动电压进行矫正。本公开还提供了一种电热微镜驱动器失配矫正方法。

公开(公告)号：CN113594054B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202110565755.6

申请日：2021-05-24

Applicant: 厦门大学

Inventor： 程翔 ,  严旭杰 ,  邓晨洋 ,  徐顺

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 本公开提供了一种具有位置监测功能的微镜系统，包括：微镜；芯片基底，芯片基底上形成有光源；至少一个驱动臂，至少一个驱动臂连接在微镜与芯片基底之间，以使得至少一个驱动臂能够被控制以对微镜进行驱动；以及光电探测器阵列，光电探测器阵列形成在微镜的背面，光电探测器阵列对光源射出的光线进行检测以对微镜的位置进行监测。

公开(公告)号：CN112928004B

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202110200668.0

申请日：2021-02-23

Applicant: 厦门大学

Inventor： 程翔 ,  邓晨洋 ,  徐顺 ,  严旭杰

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本公开提供了一种电热微镜驱动器失配矫正系统，包括：光源，光源用于向设置在光源正上方的电热微镜发出光线，电热微镜对来自光源的光线进行反射，形成反射光线；多个光电探测器均匀地设置在光源的周围，多个光电探测器分别对电热微镜形成的反射光线进行探测，生成多个电流信号；矫正电路同时接收多个电流信号，将多个电流信号转换为多个电压信号，获取多个电压信号中的最大值与最小值的差值，至少基于差值生成矫正电信号，矫正电信号能够被发送至电热微镜的至少一个驱动器，以对至少一个驱动器的驱动电压进行矫正。本公开还提供了一种电热微镜驱动器失配矫正方法。

公开(公告)号：CN113594054A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110565755.6

申请日：2021-05-24

Applicant: 厦门大学

Inventor： 程翔 ,  严旭杰 ,  邓晨洋 ,  徐顺

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 本公开提供了一种具有位置监测功能的微镜系统，包括：微镜；芯片基底，芯片基底上形成有光源；至少一个驱动臂，至少一个驱动臂连接在微镜与芯片基底之间，以使得至少一个驱动臂能够被控制以对微镜进行驱动；以及光电探测器阵列，光电探测器阵列形成在微镜的背面，光电探测器阵列对光源射出的光线进行检测以对微镜的位置进行监测。

公开(公告)号：CN217424402U

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202120575352.5

申请日：2021-03-22

Applicant: 厦门大学

Inventor： 程翔 ,  邓晨洋 ,  严旭杰

IPC: G01D5/26

Abstract: 本公开提供了一种集成微透镜光源的光电探测装置，包括：光源，光源能够射出出射光线，光源射出的出射光线能够经被监测实体反射形成反射光线；以及光电探测器阵列，光电探测器阵列用于反射光线进行探测；其中，光源的光线出射面的形状为非球面的曲面形状。