一种锗单质薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN102560573A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201210059186.9

    申请日:2012-03-08

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种锗单质薄膜的制备方法,涉及一种薄膜。导电基片预处理;配制Ge4+离子电解质溶液:将二氧化锗和碱溶液在容量瓶中用超纯水配制锗4价离子(Ge4+)的电解质溶液,调节pH值,加入支持电解质;使用三电极体系,控制反应电位为-900~-1500mV,沉积时间为100~10800s,进行电化学沉积反应,在导电基片上得到锗单质薄膜,结构稳定、平整致密、杂质含量低、膜层附着力强。能够有效避免采用磁控溅射法、化学气相沉积法或现有的电化学沉积法存在的工艺设备复杂。成本高昂、难以大规模生产等不足;具有成本低廉、生产周期短、制备工艺简单、产物质量稳定等优点。

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